[發(fā)明專(zhuān)利]薄膜蒸鍍用掩膜組件及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310548317.4
• 申請(qǐng)日: 2013-11-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103820753B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-11-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金容煥
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/04
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京銘碩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11286
• 代理人: 金光軍,金玉蘭

1.一種掩膜組件，其中包括：

形成開(kāi)口部的框架主體；

多個(gè)單位掩膜，在沿第一方向受到拉伸力的狀態(tài)下，多個(gè)所述單位掩膜的兩端部通過(guò)熔接而固定于所述框架主體；以及

端部拉伸單元，所述端部拉伸單元設(shè)置于所述框架主體，并且在所述多個(gè)單位掩膜中相鄰的兩個(gè)單位掩膜之間沿與所述第一方向垂直相交的第二方向移動(dòng)而用于沿所述第二方向拉伸所述單位掩膜的端部，

所述框架主體形成有用于設(shè)置所述端部拉伸單元的多個(gè)凹槽，

所述端部拉伸單元包括：

在所述凹槽的底面上與所述第二方向平行地形成的導(dǎo)軌；

結(jié)合于所述導(dǎo)軌而沿所述第二方向滑動(dòng)的移動(dòng)部件；

結(jié)合于所述移動(dòng)部件而控制所述移動(dòng)部件的移動(dòng)方向和移動(dòng)量的移動(dòng)控制部，

所述移動(dòng)控制部包括：

設(shè)置于所述移動(dòng)部件的側(cè)壁且具備齒條的齒條結(jié)合部；

具備與所述齒條嚙合的小齒輪的驅(qū)動(dòng)軸，

所述第一方向與所述單位掩膜的長(zhǎng)度方向一致，

所述第二方向與所述單位掩膜的寬度方向一致。

2.如權(quán)利要求1所述的掩膜組件，其中，在所述相鄰的兩個(gè)單位掩膜之間提供有一個(gè)所述端部拉伸單元。

3.如權(quán)利要求2所述的掩膜組件，其中，

所述單位掩膜的端部固定于所述多個(gè)凹槽之間的所述框架主體的表面。

4.如權(quán)利要求3所述的掩膜組件，其中，所述移動(dòng)部件的寬度形成為小于所述凹槽的寬度，

所述移動(dòng)部件的表面維持與所述框架主體的表面相同的高度。

5.如權(quán)利要求3所述的掩膜組件，其中，所述移動(dòng)控制部還包括設(shè)置于所述凹槽的側(cè)壁的引導(dǎo)結(jié)合部，

所述引導(dǎo)結(jié)合部沿著所述第二方向與所述齒條結(jié)合部形成面接觸而引導(dǎo)所述齒條結(jié)合部的移動(dòng)。