[發明專利]薄膜蒸鍍用掩膜組件及其制造方法

有效

• 申請號: 201310548317.4
• 申請日: 2013-11-07
• 公開（公告）號: CN103820753B
• 公開（公告）日: 2017-11-17
• 發明（設計）人: 金容煥
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司11286
• 代理人: 金光軍,金玉蘭

技術領域

本發明涉及掩膜組件，尤其涉及在有機發光層或金屬層等的薄膜蒸鍍工藝中使用的掩膜組件及其制造方法。

背景技術

液晶顯示裝置（LCD）和有機發光顯示裝置（OLED）作為平板顯示裝置而被廣泛使用。平板顯示裝置包括特定圖案的金屬層，而對于有機發光顯示裝置而言，針對每個像素都形成有特定圖案的有機發光層。作為形成金屬層和有機發光層的方法可應用利用掩膜組件的蒸鍍法。

掩膜組件由形成有與金屬層或有機發光層的圖案對應的開口部的掩膜和支撐掩膜的框架構成。在分割掩膜方式中，掩膜被分割成形成為帶狀的多個單位掩膜，各個單位掩膜在沿長度方向拉伸的狀態下通過熔接而固定于框架。分割掩膜方式具有能夠選擇使用優質品且容易維修的優點。

但是，單位掩膜僅沿一個方向受到拉伸力，因此單位掩膜雖然沿拉伸方向（即，長度方向）被拉長，然而在與拉伸方向垂直相交的方向（即，寬度方向）上則發生收縮現象，從而有可能使整個掩膜發生褶皺。單位掩膜的寬度越大，這種褶皺現象越明顯。

而且，單位掩膜的兩側端部在被夾具固定的狀態下被拉伸，然而單位掩膜本身由較薄的金屬板材形成，因此單位掩膜有可能無法承受夾具拽拉的力而以被固定在夾具的端部為中心發生褶皺。在單位掩膜的端部產生的褶皺有可能被擴張到形成有開口部的單位掩膜的中心部而引發蒸鍍不良。

發明內容

本發明的目的在于提供一種在分割掩膜方式的掩膜組件中，能夠抑制單位掩膜產生褶皺而提高薄膜的蒸鍍品質的掩膜組件及其制造方法。

根據本發明的一實施例的掩膜組件包括：ⅰ）形成開口部的框架主體；ⅱ）多個單位掩膜，在沿第一方向受到拉伸力的狀態下，多個單位掩膜的兩端部固定于框架主體；ⅲ）以及端部拉伸單元，端部拉伸單元設置于框架主體，并且在多個單位掩膜中相鄰的兩個單位掩膜之間沿與第一方向垂直相交的第二方向移動，以用于沿第二方向拉伸單位掩膜的端部。

在相鄰的兩個單位掩膜之間可提供有一個端部拉伸單位?？蚣苤黧w可形成有用于設置端部拉伸單元的多個凹槽，單位掩膜的端部可固定于多個凹槽之間的框架主體的表面。

端部拉伸單元可包括：在凹槽的底面上與第二方向平行地形成的導軌；結合于導軌而沿第二方向滑動的移動部件；結合于移動部件而控制移動部件的移動方向和移動量的移動控制部。

移動部件的寬度可形成為小于凹槽的寬度，移動部件的表面可以維持與框架主體的表面相同的高度。

移動控制部可包括：設置于移動部件的側壁且具備齒條的齒條結合部；具備與齒條嚙合的小齒輪的驅動軸。移動控制部還可包括設置于凹槽的側壁的引導結合部。引導結合部可沿著第二方向與齒條結合部形成面接觸，以引導齒條結合部的移動。

第一方向可與單位掩膜的長度方向一致，第二方向可以與單位掩膜的寬度方向一致。

根據本發明的另一實施例的掩膜組件的制造方法包括如下步驟：ⅰ）準備端部形成有擴張部的多個單位掩膜和設置有多個端部拉伸單元的框架主體；ⅱ）將多個單位掩膜中的某一個單位掩膜沿第一方向拉伸，并在框架主體的表面上固定單位掩膜的兩端部；ⅲ）將擴張部固定到端部拉伸單元的移動部件；ⅳ）沿與第一方向垂直相交的第二方向移動移動部件，以沿第二方向拉伸單位掩膜的端部；ⅴ）將擴張部從單位掩膜分離去除。

擴張部在單位掩膜的每個端部具備一對，且可沿第二方向朝單位掩膜的外側突出?？蚣苤黧w形成有多個凹槽，多個凹槽中的每一個凹槽設置有端部拉伸單元，多個單位掩膜之間的每個空間，可對應一個凹槽。

端部拉伸單元可包括：在凹槽的底面上與第二方向平行地形成的導軌；結合于導軌而沿第二方向滑動的移動部件；結合于移動部件而控制移動部件的移動方向和移動量的移動控制部。

移動部件的寬度形成為小于凹槽的寬度，移動部件的表面可以維持與框架主體的表面相同的高度。移動控制部可包括：設置于移動部件的側壁且具備齒條的齒條結合部；具備與齒條嚙合的小齒輪的驅動軸。

當沿第二方向移動移動部件時，移動部件可遠離單位掩膜。多個單位掩膜可包括第一單位掩膜和第二單位掩膜。第二單位掩膜在第一單位掩膜固定于框架主體之后固定于第一單位掩膜的一旁，一個端部拉伸單元可依次固定于第一單位掩膜的擴張部和第二單位掩膜的擴張部。

第一方向與單位掩膜的長度方向一致，第二方向可以與單位掩膜的寬度方向一致。

通過沿第二方向拉伸因第一方向的拉伸而產生褶皺的單位掩膜，可有效地消除單位掩膜的褶皺。因此可抑制因褶皺而引起的單位掩膜的圖案開口部的變形，從而提高薄膜的蒸鍍品質。

附圖說明