[發明專利]用于磁控濺射陽極棒的支撐件及包括其的磁控濺射裝置

有效

• 申請號: 201310545471.6
• 申請日: 2013-11-06
• 公開（公告）號: CN103602954A
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發明（設計）人: 謝進平
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京聿宏知識產權代理有限公司 11372
• 代理人: 劉華聯;蔣宏飛

技術領域

本發明涉及鍍膜設備，特別是一種用于磁控濺射陽極棒的支撐件。本發明還涉及包括這種支撐件的磁控濺射裝置。

背景技術

磁控濺射技術是鍍膜中常用的技術，其具有成膜速率高，基片溫度低，膜的粘附性好，可實現大面積鍍膜等優點。

在圓柱靶磁控濺射設備的真空腔體中，需要在圓柱靶旁邊安裝陽極棒以使得在基底上產生均勻性良好的膜層。在現有技術中，陽極棒通常為不銹鋼棒，其設置為一端與腔體相連接，而另一端使用支撐棒進行支撐。圖1示意性地顯示了現有技術中的支撐棒110，支撐棒110的一端與陽極棒300相連，另一端120插在防鍍擋片200上的孔210中，從而實現支撐棒110對陽極棒300的支撐作用。但是，支撐棒110與防鍍擋片200的這種連接方式并不穩定，經常會發生意外脫開，而造成設備異常。

發明內容

針對現有技術中所存在的上述技術問題，本發明提出了一種用于磁控濺射陽極棒的支撐件，其能夠使支撐棒與防鍍擋片牢固地連接在一起而不發生意外脫開。本發明還涉及包括這種支撐件的磁控濺射裝置。

1）根據本發明的第一方面，提出了一種用于磁控濺射陽極棒的支撐件，包括：支撐棒和能與支撐棒固定配合的防鍍擋板，其中，支撐棒的第一端部構造成與陽極棒相配合的支撐端，第二端部構造成能與防鍍擋板的安裝孔固定連接的安裝端以防止支撐棒從防鍍擋板的安裝孔中脫出，安裝端的橫截面相對于支撐棒的主體部分的橫截面而縮小。

根據本發明的支撐件，由于支撐棒與防鍍擋板通過防鍍擋板上的安裝孔而固定地安裝在一起，避免了支撐棒與防鍍擋片脫開。

2）在本發明的第1）項的一個實施方式中，支撐棒的安裝端的變徑部分形成直角臺階。支撐棒通過直角臺階與防鍍擋板上的安裝孔穩定地卡接在一起，從而提高了支撐棒的安裝穩定性。優選地，安裝孔的直徑大于或等于安裝端的直徑并且小于直角臺階的外徑。

3）在本發明的第1）或第2）項的一個實施方式中，支撐棒為圓柱形。在一個優選的實施例中，支撐棒的安裝端為圓柱形，防鍍擋板上的安裝孔為與安裝端相匹配的圓孔。圓柱形的支撐棒使得其加工比較方便。支撐棒的安裝端和安裝孔也為圓形，不但加工比較方便而且使得支撐板與安裝孔之間的配合沒有方向性，方便了裝配。

4）在本發明的第1）到第3）項中任一個的一個實施方式中，支撐棒的支撐端和陽極棒之間還設置有絕緣環。

5）在本發明的第4）項的一個實施方式中，絕緣環為陶瓷材料。陶瓷絕緣環的耐高溫性較好，并且不易老化，避免了現有技術中使用的聚合物絕緣環有可能發生碳化或易老化的問題。在一個實施例中，支撐棒為陶瓷材料。與現有技術中的不銹鋼支撐棒相比，陶瓷材料的支撐棒更加耐高溫。在一個優選的實施例中，該陶瓷材料為氧化鋁陶瓷。

6）在本發明的第1）到第5）項中任一個的一個實施方式中，陽極棒的與支撐棒配合的端部構造成中空結構，支撐棒的支撐端插入到中空結構中，絕緣環處于支撐端和所述中空結構的內壁之間。

7）根據本發明的第二方面，提出了一種磁控濺射裝置，其包括根據上文所述的支撐件。

與現有技術相比，本發明的優點在于，在防鍍擋板上設置了安裝孔，支撐棒的安裝端卡入安裝孔中，這樣實現了支撐棒和防鍍擋板的固定連接，避免了支撐棒與防鍍擋片脫開。絕緣環使用了陶瓷材料以提高其耐高溫性，并且延長使用壽命。支撐棒也使用陶瓷材料以提高其耐高溫性。

附圖說明

在下文中將基于實施例并參考附圖來對本發明進行更詳細的描述。其中：

圖1是現有技術中的支撐件的結構示意圖；

圖2是根據本發明的支撐件的結構示意圖。

在附圖中，相同的部件使用相同的附圖標記。附圖并未按照實際的比例繪制。

具體實施方式

下面將結合附圖對本發明做進一步說明。

圖1示意性地顯示了現有技術中的支撐棒110與陽極棒300和防鍍擋板200的連接關系，這里不再詳細描述。

圖2示意性地顯示了根據本發明的用于磁控濺射陽極棒的支撐件10。支撐件10包括能固定連接在一起的支撐棒11和防鍍擋板20。如圖2所示，支撐棒11的第一端部構造成安裝端12，并且安裝端12的橫截面尺寸小于支撐棒11的主體部分15的橫截面尺寸；支撐棒11的第二端部構造成與陽極棒30相配合的支撐端13。在防鍍擋板20上構造有安裝孔21，安裝孔21的形狀和大于與支撐棒11的安裝端12相匹配，從而能方便地將支撐棒11與防鍍擋板20裝配在一起。