[發明專利]基于諧波比率的缺陷分類器

有效

• 申請號: 201310542804.X
• 申請日: 2013-11-05
• 公開（公告）號: CN103824575A
• 公開（公告）日: 2014-05-28
• 發明（設計）人: 斯科特·M·德齊亞克;明·金;喬納森·戴克惠斯
• 申請（專利權）人: LSI公司
• 主分類號: G11B20/18
• 分類號: G11B20/18;G11C29/04
• 代理公司: 北京紐樂康知識產權代理事務所(普通合伙) 11210
• 代理人: 田磊

1.一種用于檢測和分類至少一個介質缺陷的系統，包括：

與至少一個介質通信的計算系統，該計算系統被構形用以：

寫入一周期性圖案到所述至少一個介質中，得到至少一個波形；

基于所述至少一個波形的一幅值與一缺陷閾值的比較，檢測所述至少一個介質的至少一個缺陷；

確定所述至少一個波形的至少兩個的諧波的幅值；以及

利用所述至少兩個諧波的幅值分類所述至少一個缺陷。

2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于：所述周期性圖案包括一4T圖案。

3.根據權利要求1所述的系統，其特征在于：所述至少兩個諧波包括所述至少一個波形的一次諧波和所述至少一個波形的三次諧波。

4.根據權利要求1所述的系統，其特征在于：所述計算系統被進一步構形用以當所述至少一個波形的所述幅值小于所述缺陷閾值時，檢測所述至少一個缺陷。

5.根據權利要求1所述的系統，其特征在于：所述計算系統被進一步構形用以將所述至少一個缺陷分類為熱粗糙缺陷或脫層缺陷中的至少一個。

6.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述計算系統進一步被構形用以：

確定所述至少兩個諧波幅值的一比率；以及

基于比較所述至少兩個諧波幅值的所述比率與一分類閾值，分類所述至少一個缺陷。

7.根據權利要求6所述的系統，其特征在于：所述至少兩個次諧波幅值的所述比率包括所述至少一個波形的三次諧波的一幅值與所述至少一個波形的一次諧波的一幅值的比率。

8.根據權利要求7所述的系統，其特征在于，所述計算系統被進一步構形用以：

當所述至少兩個諧波幅值的所述比率小于所述分類閾值時，將所述至少一個缺陷分類為熱粗糙缺陷；以及

當所述至少兩個諧波幅值的所述比率不小于所述分類閾值時，將所述至少一個缺陷分類為脫層缺陷。

9.一種檢測和分類至少一個介質缺陷的方法，包括：

寫入一周期性圖案到至少一個介質，得到至少一個波形；

基于所述至少一個波形的一幅值與一缺陷閾值的比較，檢測所述至少一個介質的至少一個缺陷；

確定所述至少一個波形的至少兩個諧波的幅值；以及

利用所述至少兩個諧波的所述幅值分類所述至少一個缺陷。

10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述周期性圖案包括一4T圖案。

11.根據權利要求9所述的方法，其特征在于：所述至少兩個諧波包括所述至少一個波形的一次諧波和所述至少一個波形的三次諧波。

12.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述方法進一步包括：

當所述至少一個波形的所述幅值小于所述缺陷閾值時，檢測所述至少一個缺陷。

13.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述方法進一步包括：

將所述至少一個缺陷分類為熱粗糙缺陷或脫層缺陷中的至少一個。

14.一種檢測和分類至少一個介質缺陷的方法，包括：

寫入一周期性圖案到至少一個介質，得到至少一個波形；

基于所述至少一個波形的一幅值與一缺陷閾值的比較，檢測所述至少一個介質的至少一個缺陷；

確定所述至少一個波形的至少兩個諧波的幅值；

確定所述至少兩個諧波的所述幅值的一比率；以及

基于所述至少兩個諧波的所述幅值的所述比率與一分類閾值的比較，分類所述至少一個缺陷。

15.如權利要求14所述的方法，其特征在于，所述周期性圖案包括一4T圖案。

16.根據權利要求14所述的方法，其特征在于，所述方法進一步包括：

當所述至少一個波形的所述幅值小于所述缺陷閾值時，檢測所述至少一個缺陷。

17.根據權利要求14所述的方法，其特征在于，所述方法進一步包括：

將所述至少一個缺陷分類為熱粗糙缺陷或脫層缺陷中的至少一個。

18.根據權利要求14所述的方法，其特征在于：所述至少兩個諧波包括所述至少一個波形的一次諧波和所述至少一個波形的三次諧波。