[發(fā)明專利]分離式點膠機構

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310540679.9
• 申請日: 2013-10-25
• 公開（公告）號: CN103599871A
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發(fā)明（設計）人: 區(qū)大公
• 申請（專利權）人: 深圳市恒睿智達科技有限公司
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C11/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發(fā)明涉及半導體固晶技術領域，特別涉及一種分離式點膠機構。?

背景技術

半導體固晶裝置在進行作時需要將固晶用的物料通過上料裝置輸送至相應位置后，將LED晶圓與基板進行鍵合固定后，再在與基板鍵合的晶圓上點膠。?

現(xiàn)有的點膠機構通常采用一體式結構，在控制點膠擺臂只能上下移動或平行移動，使得點膠的動作時間長，因而影響點膠效率。?

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明主要解決的技術問題是提供一種分離式點膠機構，該分離式點膠機構可以避免點膠擺臂不能同步上下移動和平行移動導致的點膠動作時間長，提高點膠效率，其體積小巧，結構緊湊，維護不便。?

為了解決上述問題，本發(fā)明提供一種分離式點膠機構，該分離式點膠機構包括Z向運動模組、與該Z向運動模組固定的Theta運動模組和分別與Z向運動模組固定和Theta運動模組連接的點膠擺臂模組，以及協(xié)調Z向運動模組、Theta運動模組和點膠擺臂模組工作的控制模塊，其中所述Theta運動模組包括設有伺服電機的基座，該Theta伺服電機的轉軸與安裝座一端連接，該安裝座的另一端與擺臂支架配合；所述Z向運動模組包括設有伺服電機的點膠支撐臂，該伺服電機轉軸通過聯(lián)軸器與傳動軸一端連接，在該傳動軸上設有與位置傳感器配合的感應片，所述傳動件的另一端偏軸心設有從動軸，該從動軸通過傳動塊與導軌安裝板配合，該導軌安裝板與點膠支撐臂通過導?軌滑動連接；所述點膠擺臂模組包括點膠擺臂支架，在該點膠擺臂支架設有與Theta伺服電機轉軸非同軸的擺臂轉動軸，一端設有點膠擺臂的擺臂轉動軸與安裝座傳動配合。?

進一步地說，所述Theta運動模組還包括設于基座且與設于安裝座的感應片配合的傳感器，該傳感器與控制模塊連接。?

進一步地說，所述安裝座包括前座和后座，所述前座上設有兩個平行的導軌，該導軌與后座上的兩導槽配合滑動。?

本發(fā)明分離式點膠機構，該分離式點膠機構包括Z向運動模組、與該Z向運動模組固定的Theta運動模組和分別與Z向運動模組固定和Theta運動模組連接的點膠擺臂模組，以及協(xié)調Z向運動模組、Theta運動模組和點膠擺臂模組工作的控制模塊，其中所述Theta運動模組包括設有伺服電機的基座，該Theta伺服電機的轉軸與安裝座一端連接，該安裝座的另一端與擺臂支架配合；所述Z向運動模組包括設有伺服電機的點膠支撐臂，該伺服電機轉軸通過聯(lián)軸器與傳動軸一端連接，在該傳動軸上設有與位置傳感器配合的感應片，所述傳動件的另一端偏軸心設有從動軸，該從動軸通過傳動塊與導軌安裝板配合，該導軌安裝板與點膠支撐臂通過導軌滑動連接；所述點膠擺臂模組包括點膠擺臂支架，在該點膠擺臂支架設有與Theta伺服電機轉軸非同軸的擺臂轉動軸，一端設有點膠擺臂的擺臂轉動軸與安裝座傳動配合。工作時，在控制模塊的協(xié)調控制下，所述Theta運動模組對點膠擺臂模組中的擺臂在水平面轉動的角度進行調整，同時所述Z向運動模組對點膠擺臂模組中的擺臂上下位置進行調整，通過適當?shù)恼{節(jié)可以使所述擺臂移動至適當位置對鍵合的晶圓進行點膠。與現(xiàn)有的技術相比，由于其采用上下移動和轉動分離，避免點膠擺臂不能同步上下移動和平行移動導致的點膠動作時間長，提高點膠效率，其體積小巧，結構緊湊，維護不便。?

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單介紹，顯而易見地，而描述中的附圖是本發(fā)明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來說，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖。?

圖1是本發(fā)明分離式點膠機構實施例結構示意圖。?

圖2是本發(fā)明分離式點膠機構結構分解示意圖。?

圖3是Z向運動模組實施例分解結構示意圖。?

圖4是Theta運動模組實施例分解結構示意圖。?

圖5是點膠擺臂模組實施例分解結構示意圖。?

下面結合實施例，并參照附圖，對本發(fā)明目的的實現(xiàn)、功能特點及優(yōu)點作進一步說明。?

具體實施方式

為了使發(fā)明的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。?

如圖1和圖2所示，本發(fā)明提供一種分離式點膠機構實施例。?