[發(fā)明專利]固晶機(jī)用多焊臂裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310539647.7
• 申請(qǐng)日: 2013-10-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103579031A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-02-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 區(qū)大公
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市恒睿智達(dá)科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/60
• 分類號(hào): H01L21/60;H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體固晶技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種固晶機(jī)用多焊臂裝置。?

背景技術(shù)

半導(dǎo)體固晶裝置在進(jìn)行作時(shí)需要將固晶用的物料通過(guò)上料裝置輸送至相應(yīng)位置后，由機(jī)械手將晶圓，如LED晶圓移動(dòng)到基板對(duì)應(yīng)位置進(jìn)行固定。?

現(xiàn)有的半導(dǎo)體固晶裝置通常只有一個(gè)焊臂和焊頭，在焊接金線時(shí)其焊接的效率較低。因此如何提高晶圓的焊接效率，降低生成本，需要解決的一個(gè)重要課題。?

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明主要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種固晶機(jī)用多焊臂裝置，該固晶機(jī)用多焊臂裝置可以避免采用一個(gè)焊臂時(shí)單個(gè)焊頭導(dǎo)致的焊接單位時(shí)間長(zhǎng)，提高焊接效率，降低生產(chǎn)成本。?

為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種固晶機(jī)用多焊臂裝置，該固晶機(jī)用多焊臂裝置包括設(shè)有旋轉(zhuǎn)電機(jī)的機(jī)架，在該旋轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上設(shè)有焊臂連接座，該焊臂連接座四周分別設(shè)有焊臂，每個(gè)焊臂包括焊臂本體，在該焊臂本體上設(shè)有一個(gè)使吸嘴支架上下滑動(dòng)氣缸，該吸嘴支架設(shè)有與氣源連接的晶圓吸嘴，其中所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)和滑動(dòng)氣缸分別與控制模塊控制連接。?

進(jìn)一步地說(shuō)，所述焊臂本體呈S形。?

進(jìn)一步地說(shuō)，所述吸嘴支架上設(shè)有與焊臂上導(dǎo)向槽配合的一個(gè)或兩個(gè)導(dǎo)向條。?

進(jìn)一步地說(shuō)，所述導(dǎo)向條為兩個(gè)時(shí)所述導(dǎo)向條平行設(shè)置。?

進(jìn)一步地說(shuō)，所述焊臂連接座為方形或圓柱形。?

本發(fā)明固晶機(jī)用多焊臂裝置，包括設(shè)有旋轉(zhuǎn)電機(jī)的機(jī)架，在該旋轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上設(shè)有焊臂連接座，該焊臂連接座四周分別設(shè)有焊臂，每個(gè)焊臂上設(shè)有一個(gè)使吸嘴支架上下滑動(dòng)氣缸，該吸嘴支架設(shè)有與氣源連接的晶圓吸嘴，其中所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)和滑動(dòng)氣缸分別與控制模塊控制連接。工作時(shí)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動(dòng)焊臂本體轉(zhuǎn)動(dòng)，再通過(guò)調(diào)節(jié)吸嘴支架與焊臂之間的位置，使晶圓吸嘴準(zhǔn)確拾起晶圓。由于焊臂連接座四周均勻分部有四個(gè)晶圓吸嘴的焊臂本體，每個(gè)晶圓吸嘴之間為90度的夾角。當(dāng)?shù)谝粋€(gè)晶圓吸嘴拾起晶圓后只需要轉(zhuǎn)動(dòng)90度，第二個(gè)晶圓吸嘴拾起第二個(gè)晶圓進(jìn)行后續(xù)的工藝處理，同時(shí)拾起第三個(gè)、第四個(gè)晶圓。由于在拾起每個(gè)晶圓時(shí)，每個(gè)焊臂只需要轉(zhuǎn)動(dòng)90度，其轉(zhuǎn)動(dòng)角度小，可以提高拾起晶圓的動(dòng)作的時(shí)間，進(jìn)而減少晶圓固晶等封裝的平均時(shí)間，提高半導(dǎo)體的封裝效率。?

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單介紹，顯而易見(jiàn)地，而描述中的附圖是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖。?

圖1是本發(fā)明固晶機(jī)用多焊臂裝置實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖。?

圖2是本發(fā)明焊臂結(jié)構(gòu)放大示意圖。?

下面結(jié)合實(shí)施例，并參照附圖，對(duì)本發(fā)明目的的實(shí)現(xiàn)、功能特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)作進(jìn)一步說(shuō)明。?

具體實(shí)施方式

為了使發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，?所描述的實(shí)施例是發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。?

如圖1和圖2所示，本發(fā)明提供一種固晶機(jī)用多焊臂裝置實(shí)施例。?

該固晶機(jī)用多焊臂裝置包括：設(shè)有旋轉(zhuǎn)電機(jī)11的機(jī)架1，在該旋轉(zhuǎn)電機(jī)11的轉(zhuǎn)軸上設(shè)有焊臂連接座2，該焊臂連接座2四周分別設(shè)有焊臂3，每個(gè)焊臂3包括焊臂本體31，在該焊臂本體31上設(shè)有一個(gè)使吸嘴支架30上下移動(dòng)的滑動(dòng)氣缸33，該吸嘴支架30設(shè)有與氣源連接的晶圓吸嘴32，其中所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)11和滑動(dòng)氣缸33分別與控制模塊(附圖未標(biāo)示)控制連接。?

具體地說(shuō)，所述焊臂本體31包括呈S形。所述焊臂連接座2可以設(shè)為方形或圓柱形。所述吸嘴支架30上設(shè)有與焊臂本體31上導(dǎo)向槽(附圖未標(biāo)示)配合的一個(gè)或兩個(gè)導(dǎo)向條，當(dāng)所述導(dǎo)向條為兩個(gè)時(shí)所述導(dǎo)向條平行設(shè)置。該導(dǎo)向條可以使吸嘴支架30在移動(dòng)時(shí)更加平穩(wěn)。?

工作時(shí)，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)11帶動(dòng)焊臂本體轉(zhuǎn)動(dòng)，再通過(guò)調(diào)節(jié)吸嘴支架30與焊臂本體31之間的位置，使晶圓吸嘴準(zhǔn)確拾起晶圓。焊臂連接座2四周均勻分部有四個(gè)晶圓吸嘴的焊臂本體31，每個(gè)晶圓吸嘴之間為90度的夾角。當(dāng)?shù)谝粋€(gè)晶圓吸嘴拾起晶圓后只需要轉(zhuǎn)動(dòng)90度，第二個(gè)晶圓吸嘴拾起第二個(gè)晶圓進(jìn)行后續(xù)的工藝處理，同時(shí)拾起第三個(gè)、第四個(gè)晶圓。由于在拾起每個(gè)晶圓時(shí)，每個(gè)焊臂只需要轉(zhuǎn)動(dòng)90度，其轉(zhuǎn)動(dòng)角度小，可以提高拾起晶圓的動(dòng)作的時(shí)間，進(jìn)而減少晶圓固晶等封裝的平均時(shí)間，提高半導(dǎo)體的封裝效率。?

以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換，而這些修改或替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。?