[發(fā)明專利]固晶機(jī)用多焊臂裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310539647.7 | 申請(qǐng)日： | 2013-10-25 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN103579031A | 公開（公告）日： | 2014-02-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 區(qū)大公 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 深圳市恒睿智達(dá)科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/60 | 分類號(hào)： | H01L21/60;H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 固晶機(jī)用多焊臂 裝置 | ||
1.固晶機(jī)用多焊臂裝置，包括設(shè)有旋轉(zhuǎn)電機(jī)的機(jī)架，其特征在于：
在該旋轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上設(shè)有焊臂連接座，該焊臂連接座四周分別設(shè)有焊臂，每個(gè)焊臂包括焊臂本體，在該焊臂本體上設(shè)有一個(gè)使吸嘴支架上下滑動(dòng)氣缸，該吸嘴支架設(shè)有與氣源連接的晶圓吸嘴，其中所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)和滑動(dòng)氣缸分別與控制模塊控制連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固晶機(jī)用多焊臂裝置，其特征在于：
所述焊臂本體呈S形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的固晶機(jī)用多焊臂裝置，其特征在于：
所述吸嘴支架上設(shè)有與焊臂上導(dǎo)向槽配合的一個(gè)或兩個(gè)導(dǎo)向條。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的固晶機(jī)用多焊臂裝置，其特征在于：
所述導(dǎo)向條為兩個(gè)時(shí)所述導(dǎo)向條平行設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固晶機(jī)用多焊臂裝置，其特征在于：
所述焊臂連接座為方形或圓柱形。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
