[發明專利]觸控面板傳感器的制造方法及觸控面板傳感器

無效

• 申請號: 201310537782.8
• 申請日: 2013-11-04
• 公開（公告）號: CN103823586A
• 公開（公告）日: 2014-05-28
• 發明（設計）人: 巖田寬;村上喜信
• 申請（專利權）人: 住友重機械工業株式會社
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

技術領域

本申請主張基于2012年11月15日申請的日本專利申請第2012-251285的優先權。其申請的全部內容通過參考援用于本說明書中。

本發明涉及一種觸控面板傳感器的制造方法及觸控面板傳感器。

背景技術

作為觸控面板傳感器已知有在基板上形成預定圖案的透明導電膜的方法。例如，專利文獻1所示的觸控面板的制造方法中，通過進行在抗蝕劑層上曝光預定圖案的光刻蝕工序之后對透明導電膜進行蝕刻來形成圖案。

專利文獻1：日本特開2012-164079號公報

然而，在通過專利文獻1的制造方法而制造的觸控面板傳感器中，由于存在形成有透明導電膜的圖案的部分與未形成透明導電膜的圖案的部分，從而存在用作觸控面板時看得到透明導電膜的圖案的問題。為使不易看得到圖案而將透明導電膜變薄時薄膜方阻值上升，因而存在操作觸控面板時的噪聲較大且容易導致故障等問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種無需降低性能而能夠使觸控面板的外觀良好的觸控面板傳感器及其制造方法。

本發明所涉及的觸控面板傳感器的制造方法，所述觸控面板傳感器具備基板及形成于基板上的透明導電膜，該方法具備：準備工序，準備將透明導電膜形成于表面的基板；設置工序，將具有形成有覆蓋透明導電膜的第1區域及使透明導電膜露出的第2區域的圖案的圖案形成部件設置在透明導電膜上；圖案形成工序，通過向與第2區域對應的部分的透明導電膜注入氧、氧離子、氮、氮離子、氮氧化物、及氮氧化物離子中的至少任一個照射物來形成絕緣部，將由第1區域覆蓋的部分的透明導電膜作為導電部進行圖案形成；及去除工序，從透明導電膜上去除圖案形成部件。

根據本發明所涉及的觸控面板的制造方法，與圖案形成部件的第2區域對應的部分成為露出透明導電膜的狀態。由此，該部分通過注入氧或氧離子來成為過氧化狀態從而成為不具有導電性的絕緣部。并且，通過注入氮、氮離子、氮氧化物、或氮氧化物離子而在該部分形成具有絕緣性的氮化合物，因此成為不具有導電性的絕緣部。另一方面，與圖案形成部件的第1區域對應的部分中成為透明導電膜由抗蝕劑層覆蓋的狀態。由此，該部分無需注入氧、氧離子、氮、氮離子、氮氧化物、及氮氧化物離子而作為具有導電性的導電部用與圖案形成部件的第1區域對應的圖案進行圖案形成。由此，對透明導電膜進行電性圖案形成。另一方面，導電部及絕緣部用相同的材料以相同的膜厚形成，因此成為無法目視導電部的圖案形狀的狀態。即，能夠設為在光學上還未進行圖案形成的狀態。不使透明導電膜的膜厚變薄也能夠看得到圖案，因此能夠維持作為觸控面板傳感器的性能。如上所述，無需降低性能就能夠使觸控面板的外觀良好。

本發明所涉及的觸控面板傳感器的制造方法中，在透明導電膜上形成抗蝕劑層且殘留與第1區域對應的部分的抗蝕劑層，并且從透明導電膜上去除與第2區域對應的部分的抗蝕劑層，從而可在透明導電膜上設置圖案形成部件。根據以上方法，能夠按每一個觸控面板傳感器設置圖案形成部件，因此能夠高精度地形成導電部及絕緣部。

在本發明所涉及的觸控面板傳感器的制造方法中，準備預先形成有第1區域及第2區域的圖案形成部件，并且配置在透明導電膜上，從而也可在透明導電膜上設置圖案形成部件。根據以上方法，能夠多次循環使用圖案形成部件，因此能夠抑制成本。

本發明所涉及的觸控面板傳感器的制造方法中，可還具備如下蝕刻工序，即將能量低于在圖案形成工序中被注入的照射物的能量的照射物照射于絕緣部，且對絕緣部的表面進行蝕刻。根據以上方法，能夠通過將該絕緣部變薄來使導電部與絕緣部之間的光學條件更加相近。

本發明所涉及的觸控面板傳感器具備基板及形成于基板上的透明導電膜，透明導電膜具有具備預定圖案的導電部、和氧量、氮量、及氮氧化物量中的至少任一個比該導電部多的絕緣部。

根據本發明所涉及的觸控面板傳感器，能夠得到與上述觸控面板傳感器的制造方法相同的效果。

發明效果

根據本發明，無需降低性能而能夠使外觀良好。

附圖說明

圖1是表示用于制造本發明的觸控面板傳感器的制造裝置的一實施方式的塊結構圖。

圖2是表示本發明的實施方式所涉及的觸控面板傳感器的結構的圖。

圖3是表示本發明的實施方式所涉及的觸控面板傳感器的結構的圖。

圖4是表示本發明的實施方式所涉及的觸控面板傳感器的制造方法的內容的流程圖。

圖5是用于說明圖4所示的各工序的內容的示意圖。

圖6是用于說明圖4所示的各工序的內容的示意圖。