[發明專利]觸控面板傳感器的制造方法及觸控面板傳感器

無效

• 申請號: 201310537782.8
• 申請日: 2013-11-04
• 公開（公告）號: CN103823586A
• 公開（公告）日: 2014-05-28
• 發明（設計）人: 巖田寬;村上喜信
• 申請（專利權）人: 住友重機械工業株式會社
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

1.一種觸控面板傳感器的制造方法，該觸控面板傳感器具備基板及形成于所述基板上的透明導電膜，該方法具備：

準備工序，準備將所述透明導電膜形成于表面的所述基板；

設置工序，將圖案形成部件設置在所述透明導電膜上，該圖案形成部件具有形成有覆蓋所述透明導電膜的第1區域及使所述透明導電膜露出的第2區域的圖案；

圖案形成工序，通過向與所述第2區域對應的部分的所述透明導電膜注入氧、氧離子、氮、氮離子、氮氧化物、及氮氧化物離子中的至少任一個照射物來形成絕緣部，將由所述第1區域覆蓋的部分的所述透明導電膜作為導電部進行圖案形成；及

去除工序，從所述透明導電膜上去除所述圖案形成部件。

2.根據權利要求1所述的觸控面板傳感器的制造方法，其中，

在所述透明導電膜上形成抗蝕劑層，

殘留與所述第1區域對應的部分的所述抗蝕劑層，并且從所述透明導電膜上去除與所述第2區域對應的部分的所述抗蝕劑層，從而在所述透明導電膜上設置所述圖案形成部件。

3.根據權利要求1所述的觸控面板傳感器的制造方法，其中，

準備預先形成有所述第1區域及所述第2區域的所述圖案形成部件，并且配置在所述透明導電膜上，從而在所述透明導電膜上設置所述圖案形成部件。

4.根據權利要求1～3中的任一項所述的觸控面板傳感器的制造方法，其中，

該方法還具備蝕刻工序，將能量低于所述圖案形成工序中被注入的所述照射物的能量的所述照射物照射于所述絕緣部，從而對所述絕緣部的表面進行蝕刻。

5.一種觸控面板傳感器，具備：

基板；及

透明導電膜，形成在所述基板上，

所述透明導電膜具有:具備預定圖案的導電部；和氧量、氮量、及氮氧化物量中的至少任一個比該導電部多的絕緣部。