[發明專利]皮秒激光加工設備

有效

• 申請號: 201310527097.7
• 申請日: 2013-10-30
• 公開（公告）號: CN104043899B
• 公開（公告）日: 2018-07-13
• 發明（設計）人: 尹永俊;金志勛;田民鎬;金英培
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: B23K26/06
• 分類號: B23K26/06;B23K26/00
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 魯恭誠;王彬

本發明提供一種皮秒激光加工設備，所述皮秒激光加工設備包括：皮秒激光器，被構造為輸出皮秒激光束；相位差控制器，位于所述皮秒激光束的路徑上，所述相位差控制器被構造為改變所述皮秒激光束的相位差。

本申請要求于2013年3月13日提交到韓國知識產權局的第10-2013-0026829號韓國專利申請的優先權，所述韓國專利申請的公開內容通過引用被全部包含于此。

技術領域

本發明的實施例涉及一種皮秒激光加工設備。

背景技術

由于電子產品或在電子產品中使用的部件的尺寸變得更小，所以對高精度加工技術的需求正在增加。另外，所使用的制造工藝的類型和材料的類型變得更加多樣化。為了實現各種具有高精度的加工并為了加工各種材料，激光加工設備正在被廣泛地使用。

激光加工設備使用脈沖激光器。根據脈沖寬度，脈沖激光器可被分為納秒激光器、皮秒激光器和飛秒激光器。根據脈沖激光器的設計和類型，與其它脈沖激光器相比，從皮秒激光器發射的激光束可具有相對優良的線性偏振特性。然而，根據激光束的振幅的變化，在工件上可形成波紋。通常，當激光束具有較短的脈沖寬度時，產生較少的熱量并形成較少的波紋。

當工件由利用皮秒激光器的激光加工設備加工時，在所述工件上可形成波紋。因為所述工件的被照射部分由于相對少的熱量的產生而不會融化，所以所述波紋會殘留。結果，所述工件的表面狀況會變差。

發明內容

本發明的實施例提供一種皮秒激光加工設備，所述皮秒激光加工設備能減少工件上波紋的形成。

本發明的實施例還提供一種皮秒激光加工設備，所述皮秒激光加工設備能改善工件的表面狀況。

然而，本發明的實施例并不局限于這里所闡述的一個。通過參照下面給出的本發明的詳細描述，對于本發明所屬領域的普通技術人員來說，本發明的以上和其它方面將變得更加清楚。

根據本發明的實施例，提供一種皮秒激光加工設備，所述皮秒激光加工設備包括：皮秒激光器，被構造為輸出皮秒激光束；相位差控制器，位于所述皮秒激光束的路徑上，所述相位差控制器被構造為改變所述皮秒激光束的相位差。

所述相位差控制器可包括相位延遲膜。

所述相位延遲膜可被構造為將所述皮秒激光束的相位差改變為大約四分之一波長的相位差。

所述相位差控制器可被構造為將所述皮秒激光束的相位差改變為大約四分之一波長的相位差。

所述皮秒激光加工設備可包括：工作臺，用于安裝工件，所述工件被穿過所述相位差控制器的所述皮秒激光束照射。

所述皮秒激光加工設備可包括：固定器，被構造為固定所述工件。

所述皮秒激光器可被構造為輸出所述皮秒激光束，使得所述皮秒激光束是基本線偏振的。

根據本發明的另一方面，提供一種皮秒激光加工設備，所述皮秒激光加工設備包括：皮秒激光器，被構造為輸出皮秒激光束；相位差控制器，位于所述皮秒激光束的路徑上，并且被構造為連續地改變所述皮秒激光束的相位差。

所述相位差控制器可包括相位延遲膜。

所述相位延遲膜可被構造為旋轉。

所述相位延遲膜可被構造為每分鐘旋轉800到1600次。

所述相位延遲膜的旋轉軸可基本平行于所述皮秒激光束的傳播方向。

所述相位延遲膜可被構造為將所述皮秒激光束的相位差改變為四分之一波長的相位差。

所述相位延遲膜可被構造為沿第一方向和不同于第一方向的第二方向繞著旋轉軸反復地旋轉。