[發明專利]皮秒激光加工設備有效
| 申請號： | 201310527097.7 | 申請日： | 2013-10-30 |
| 公開（公告）號： | CN104043899B | 公開（公告）日： | 2018-07-13 |
| 發明（設計）人： | 尹永俊;金志勛;田民鎬;金英培 | 申請（專利權）人： | 三星顯示有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/06 | 分類號： | B23K26/06;B23K26/00 |
| 代理公司： | 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286 | 代理人： | 魯恭誠;王彬 |
| 地址： | 韓國京畿*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光束 皮秒激光加工設備 相位差控制器 激光加工設備 皮秒激光器 相位差 種皮 輸出 | ||
1.一種皮秒激光加工設備，包括：
皮秒激光器，被構造為輸出第一皮秒激光束；
相位差控制器，位于所述第一皮秒激光束的路徑上，并且所述相位差控制器被構造為連續地改變所述第一皮秒激光束的相位差，
其中，相位差控制器將第一皮秒激光束改變成第二皮秒激光束，第二皮秒激光束具有與第一皮秒激光束不同的相位差，
其中，相位差控制器包括相位延遲膜，所述相位延遲膜將第一皮秒激光束的相位差改變為四分之一波長的相位差，
其中，所述相位延遲膜被構造為每分鐘旋轉800到1600次，
其中，第一皮秒激光束的偏振狀態是線偏振，
其中，第二皮秒激光束的偏振狀態包括圓偏振和橢圓偏振。
2.根據權利要求1所述的皮秒激光加工設備，其中，所述相位延遲膜的旋轉軸基本平行于所述第一皮秒激光束的傳播方向。
3.根據權利要求1所述的皮秒激光加工設備，其中，所述相位延遲膜被構造為沿第一方向和不同于第一方向的第二方向繞著旋轉軸反復地旋轉。
4.一種皮秒激光加工設備，包括：
皮秒激光器，被構造為輸出第一皮秒激光束；
振蕩方向控制器，位于所述第一皮秒激光束的路徑上，所述振蕩方向控制器被構造為連續地改變所述第一皮秒激光束的振蕩方向；
相位差控制器，位于穿過所述振蕩方向控制器的所述第一皮秒激光束的路徑上，
其中，相位差控制器將第一皮秒激光束改變成第二皮秒激光束，第二皮秒激光束具有與第一皮秒激光束不同的相位差，
其中，相位差控制器包括相位延遲膜，所述相位延遲膜將第一皮秒激光束的相位差改變為四分之一波長的相位差，
其中，所述相位延遲膜被構造為每分鐘旋轉800到1600次，
其中，第一皮秒激光束的偏振狀態是線偏振，
其中，第二皮秒激光束的偏振狀態包括圓偏振和橢圓偏振。
5.根據權利要求4所述的皮秒激光加工設備，其中，所述振蕩方向控制器還包括：
第一電極；
第二電極，面對所述第一電極；
扭曲向列(TN)液晶層，位于第一電極和第二電極之間，
其中，所述振蕩方向控制器被構造為連續地改變第一電極和第二電極之間的電勢差。
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