[發(fā)明專利]一種標(biāo)定位移平臺(tái)線性度的方法及系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310526171.3
• 申請(qǐng)日: 2013-10-29
• 公開（公告）號(hào): CN103529655A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李顯杰;趙飛;陳勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津芯碩精密機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G01B11/00
• 代理公司: 天津市三利專利商標(biāo)代理有限公司 12107
• 代理人: 閆俊芬

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于印刷線路板設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種標(biāo)定位移平臺(tái)線性度的方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)

光刻技術(shù)是用于在基底表面上印刷具有特征的構(gòu)圖的技術(shù)。這樣的基底可包括用于制造半導(dǎo)體器件、多種集成電路、平面顯示器（例如液晶顯示器）、電路板、生物芯片、微機(jī)械電子芯片、光電子線路芯片等的芯片。

激光成像系統(tǒng)是在有襯底的表面上直接顯示設(shè)計(jì)的圖像，用紫外光、遠(yuǎn)紫外光、準(zhǔn)直光等經(jīng)空間光調(diào)制器SLM和投影物鏡將光投向襯底的表面，觸發(fā)襯底的表面感光材料的光觸反應(yīng)，曝光結(jié)束的襯底經(jīng)顯影劑等處理，顯示出設(shè)計(jì)的圖像，成像精度高，最小線寬達(dá)10μm。

實(shí)際使用中，激光成像設(shè)備長期處于工作狀態(tài)，其圖像采集設(shè)備CCD1和CCD2的相對(duì)位置受到環(huán)境（如溫度等）、材料的膨脹系數(shù)等影響會(huì)發(fā)生變化。變化的區(qū)間在0-40μm，甚至更大，這種微小的變化會(huì)對(duì)對(duì)準(zhǔn)要求在十幾微米的目標(biāo)產(chǎn)生巨大的影響，會(huì)導(dǎo)致設(shè)備工作一段時(shí)間后無法精確對(duì)準(zhǔn)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種標(biāo)定位移平臺(tái)線性度的方法及系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述缺陷。

為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的，本發(fā)明提供了一種標(biāo)定位移平臺(tái)線性度的方法，在激光成像系統(tǒng)中使用，

第1步，第一圖像采集設(shè)備獲取標(biāo)定尺上第一固定圖形位置進(jìn)行定位，獲取所述第一圖像采集設(shè)備的位置坐標(biāo)；

第2步，第二圖像采集設(shè)備從相鄰所述第一固定圖形的第二固定圖形起始，沿同一方向依次獲取所述標(biāo)定尺上的固定圖形位置進(jìn)行定位，依次獲取所述第二圖像采集設(shè)備的位置坐標(biāo)；

第3步，設(shè)定所述標(biāo)定尺固定圖形的間距為L，設(shè)定獲取的所述第一圖像采集設(shè)備的位置坐標(biāo)為P1，獲取的所述第二圖像采集設(shè)備的位置坐標(biāo)依次為P2、P3、P4，計(jì)算P1與P2的距離為L1，計(jì)算P3與P4的距離為L2，通過下述得到線性度值X：根據(jù)所述線性度值可以表征所述位移平臺(tái)的線性度。

相應(yīng)地，本發(fā)明還提供了一種標(biāo)定位移平臺(tái)線性度的系統(tǒng)，應(yīng)用于激光成像系統(tǒng)中，包括：工作平臺(tái)、吸盤、標(biāo)定尺、第一圖像采集設(shè)備、第二圖像采集設(shè)備、位移平臺(tái)、龍門，所述吸盤放置于所述工作平臺(tái)上，所述標(biāo)定尺設(shè)置有固定圖形，且放置于所述吸盤一側(cè)，所述工作平臺(tái)上設(shè)有龍門，所述第一圖像采集設(shè)備與所述龍門上固定連接，所述第二圖像采集設(shè)備與所述龍門滑動(dòng)連接，所述第二圖像采集設(shè)備與所述位移平臺(tái)固定連接。

本發(fā)明的有益效果為，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，測(cè)量誤差較小，實(shí)用性較強(qiáng)，通過簡單的結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)實(shí)時(shí)有效的標(biāo)定測(cè)量系統(tǒng)間的變化，通過測(cè)量的線性度對(duì)位移平臺(tái)進(jìn)行補(bǔ)償。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明提供的標(biāo)定尺結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中，1-吸盤，2-龍門，3-固定圖像采集設(shè)備，4-標(biāo)定尺，5-位移平臺(tái)，6-移動(dòng)圖像采集設(shè)備，7-固定圖形。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及有益效果更加清楚明白，以下結(jié)合實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解為此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。

本發(fā)明提供了一種標(biāo)定位移平臺(tái)線性度的方法，在激光成像系統(tǒng)中使用，所述激光成像系統(tǒng)，如圖1所示，包括：工作平臺(tái)、吸盤、標(biāo)定尺、第一圖像采集設(shè)備、第二圖像采集設(shè)備、位移平臺(tái)、龍門，所述吸盤放置于所述工作平臺(tái)上，所述標(biāo)定尺設(shè)置有固定圖形，且放置于所述吸盤一側(cè)，所述工作平臺(tái)上設(shè)有龍門，所述第一圖像采集設(shè)備與所述龍門上固定連接，所述第二圖像采集設(shè)備與所述龍門滑動(dòng)連接，所述第二圖像采集設(shè)備與所述位移平臺(tái)固定連接。所述第一圖像采集設(shè)備為固定圖像采集設(shè)備3，所述第二圖像采集設(shè)備為移動(dòng)圖像采集設(shè)備6。如圖2所示，所述標(biāo)定尺，材料為熱膨脹系數(shù)要求不大于10^-5（1/℃），上面設(shè)計(jì)多個(gè)固定圖形7，所有固定圖形都相同，其間距均相等，通過判斷所述固定圖形中心點(diǎn)，來進(jìn)行定位。標(biāo)定尺的中心點(diǎn)坐標(biāo)隨環(huán)境變化極小，通過其來標(biāo)定位移平臺(tái)線性度。

所述方法，包括以下步驟：

第1步，第一圖像采集設(shè)備獲取標(biāo)定尺上第一固定圖形位置進(jìn)行定位，獲取所述第一圖像采集設(shè)備的位置坐標(biāo)；

第2步，第二圖像采集設(shè)備從相鄰所述第一固定圖形的第二固定圖形起始，沿同一方向依次獲取所述標(biāo)定尺上的固定圖形位置進(jìn)行定位，依次獲取所述第二圖像采集設(shè)備的位置坐標(biāo)；