[發(fā)明專利]一種標(biāo)定位移平臺(tái)線性度的方法及系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310526171.3
• 申請(qǐng)日: 2013-10-29
• 公開（公告）號(hào): CN103529655A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李顯杰;趙飛;陳勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津芯碩精密機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G01B11/00
• 代理公司: 天津市三利專利商標(biāo)代理有限公司 12107
• 代理人: 閆俊芬

1.一種標(biāo)定位移平臺(tái)線性度的方法，在激光成像系統(tǒng)中使用，其特征在于，

第1步，第一圖像采集設(shè)備獲取標(biāo)定尺上第一固定圖形位置進(jìn)行定位，獲取所述第一圖像采集設(shè)備的位置坐標(biāo)；

第2步，第二圖像采集設(shè)備從相鄰所述第一固定圖形的第二固定圖形起始，沿同一方向依次獲取所述標(biāo)定尺上的固定圖形位置進(jìn)行定位，依次獲取所述第二圖像采集設(shè)備的位置坐標(biāo)；

第3步，設(shè)定所述標(biāo)定尺固定圖形的間距為L(zhǎng)，設(shè)定獲取的所述第一圖像采集設(shè)備的位置坐標(biāo)為P1，獲取的所述第二圖像采集設(shè)備的位置坐標(biāo)依次為P2、P3、P4，計(jì)算P1與P2的距離為L(zhǎng)1，計(jì)算P3與P4的距離為L(zhǎng)2，通過下述得到線性度值X：根據(jù)所述線性度值可以表征所述位移平臺(tái)的線性度。

2.一種標(biāo)定位移平臺(tái)線性度的系統(tǒng)，應(yīng)用于激光成像系統(tǒng)中，其特征在于，包括：工作平臺(tái)、吸盤、標(biāo)定尺、第一圖像采集設(shè)備、第二圖像采集設(shè)備、位移平臺(tái)、龍門，所述吸盤放置于所述工作平臺(tái)上，所述標(biāo)定尺設(shè)置有等間距的固定圖形，且放置于所述吸盤一側(cè)，所述工作平臺(tái)上設(shè)有龍門，所述第一圖像采集設(shè)備與所述龍門上固定連接，所述第二圖像采集設(shè)備與所述龍門滑動(dòng)連接，所述第二圖像采集設(shè)備與所述位移平臺(tái)固定連接。