[發(fā)明專利]方形基片的氣流引導(dǎo)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310524819.3
• 申請(qǐng)日: 2013-10-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104588276B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-02-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 符平平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): B05C11/08
• 分類號(hào): B05C11/08
• 代理公司: 沈陽(yáng)科苑專利商標(biāo)代理有限公司21002
• 代理人: 何麗英

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體行業(yè)晶圓勻膠技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)是一種方形基片的氣流引導(dǎo)裝置。

背景技術(shù)

目前市場(chǎng)上制作的芯片成品都是方形的，因此方形基片在晶片材料使用率上比圓片要高，但是方片沒(méi)有圓片在旋轉(zhuǎn)涂膠的均勻性好，方片的四角容易堆膠，所以旋轉(zhuǎn)勻膠技術(shù)對(duì)方片造成了材料浪費(fèi)。如果能改善方片四角的涂膠效果，就能極大的提高方片的材料使用率，提高成品率。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種方形基片的氣流引導(dǎo)裝置。所述裝置改善方形基片涂膠工藝效果，解決了方形基本涂膠過(guò)程中四個(gè)角膠液堆積嚴(yán)重的現(xiàn)象。該裝置可以手動(dòng)或是自動(dòng)使用在涂膠腔體上。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種方形基片的氣流引導(dǎo)裝置，包括蓋體、葉片、小軸及緊固座，其中葉片、小軸及緊固座設(shè)置于蓋體內(nèi)，所述緊固座的一端與蓋體的頂部連接，緊固座的另一端與小軸的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述小軸的另一端與葉片連接。

所述緊固座的一端穿過(guò)蓋體的頂部、并與把手連接。所述小軸的一端通過(guò)軸承與緊固座的另一端連接。

所述裝置設(shè)置于涂膠腔體的開(kāi)口上。所述葉片與待涂膠的方形基片相對(duì)應(yīng)。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)及有益效果是：

1.本發(fā)明更好的解決了方形基片涂膠時(shí)腔體因?yàn)橛虚_(kāi)口而氣流不穩(wěn)定的情況，并能引導(dǎo)氣流向四周流動(dòng)改善工藝效果。

2.本發(fā)明結(jié)構(gòu)便于使用以及免維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)。

3.本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、安裝使用方便等特點(diǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明在勻膠裝置中的剖面示意圖；

圖2為本發(fā)明的側(cè)視圖。

其中：1為蓋體，2為軸承，3為葉片，4為把手，5為小軸，6為緊固座，7為涂膠腔體，N氣流方向。

具體實(shí)施方式

如圖1所示，包括蓋體1、葉片3、把手4、小軸5及緊固座6，其中葉片3、小軸5及緊固座6設(shè)置于蓋體1內(nèi)，所述緊固座6的一端穿過(guò)蓋體1的頂部、并與把手4連接。緊固座6的另一端與小軸5的一端通過(guò)軸承2轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述小軸5的另一端與葉片3固定連接。

如圖2所示，本發(fā)明可以手動(dòng)或自動(dòng)方式扣在涂膠腔體7的開(kāi)口上、并密封住腔體，讓腔體內(nèi)氣流穩(wěn)定。本裝置和涂膠腔體7同心，所述葉片3與待涂膠的方形基片相對(duì)應(yīng)。可旋轉(zhuǎn)的葉片3不需要任何驅(qū)動(dòng)，在下方有氣流的帶動(dòng)下可自行轉(zhuǎn)動(dòng)，所述葉片3的旋轉(zhuǎn)能讓涂膠腔體7內(nèi)部中心氣流引到四周。

本發(fā)明的工作原理是：

在勻膠裝置使用時(shí)，電機(jī)會(huì)帶動(dòng)晶片進(jìn)行高速旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)會(huì)有氣流以氣流方向N或與氣流方向N相反方向流動(dòng)，此時(shí)葉片3被氣流帶動(dòng)以低速旋轉(zhuǎn)。葉片3周圍也會(huì)有微弱氣流的流動(dòng)，氣流加大方片四角處的氣流流動(dòng)，讓膠液能更好的涂勻四角。

本裝置使用在涂膠腔體7上，起到密封涂膠腔體7和引導(dǎo)涂膠腔體7內(nèi)部氣流的作用。本裝置能加大涂膠腔體7內(nèi)部基片邊緣的旋轉(zhuǎn)氣流，改善了方形基片四角堆膠的現(xiàn)象。本裝置材料采用PP塑料和優(yōu)質(zhì)不銹鋼，適合在勻膠工藝中有腐蝕的場(chǎng)合下使用，并且方便清洗。