[發明專利]智能操作裝置資源分配系統

有效

• 申請號: 201310519678.6
• 申請日: 2013-10-29
• 公開（公告）號: CN104570990B
• 公開（公告）日: 2018-10-16
• 發明（設計）人: 陶立峰
• 申請（專利權）人: 恩智浦美國有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 劉倜

本發明涉及智能操作裝置資源分配系統和方法。所述系統包括：多個測試器，測試器側接駁板、以及測試器通信端口，每一個測試器包括處理器和存儲器，被配置來存儲以及執行用于同時測試所述多個半導體元件中的一個的控制信號。操作裝置具有多個測試站、操作裝置側接駁板、以及操作裝置通信端口，每一個測試站被配置來接收所述多個半導體元件中的一個。控制器位于所述多個測試器以及所述操作裝置外部，并且通過所述測試器以及操作裝置通信端口與所述多個測試器和所述操作裝置中的每一個通信。每一個所述多個測試器的和所述操作裝置之間的通信通過所述控制器進行。

技術領域

本發明針對用于同時測試多個半導體元件（諸如，集成電路）的系統和方法。

背景技術

自動測試設備(ATE)通常用于測試制造的半導體元件，諸如，集成電路等。該測試系統通常包括與操作裝置耦接的測試器。操作裝置是一種放置工具，其將測試器件（DUT）（諸如，集成電路）放置在操作裝置內的測試站。測試器發送指令到操作裝置，諸如，分倉揀選信息、開始/停止信號等，以用于進行DUT的測試。測試器也耦接到DUT以檢測并存儲測試的結果，以報告給操作人員。

工業系統將一個測試器連接到一個操作裝置。通常操作裝置可以利用操作裝置內的八到三十二個測試站同時測試集成電路。然而，測試器更常常限于一個到八個測試通道。對于高引腳數器件，測試器的容量常常進一步降低到兩個或四個通道，或者，甚至可能限制到單個通道。測試器的這樣的限制導致浪費了操作裝置容量的至少50-75%。

操作裝置是昂貴的，每一個成本為數十萬美元，并且當前在上述的條件下增加吞吐量要求增加操作裝置的數目。因此，期望提供更有效以及更成本有效的增加自動電路測試的方式同時以最少的修改利用現有的測試技術。

發明內容

根據本公開的一個實施例，提供了一種用于同時測試多個半導體元件的系統，所述系統包括：多個測試器，每一個包括處理器和存儲器、測試器側接駁板、以及測試器通信端口，所述處理器和存儲器被配置來存儲以及執行用于完成測試所述多個半導體元件中的一個半導體元件的控制信號；操作裝置，其具有多個測試站、操作裝置側接駁板、以及操作裝置通信端口，每一個測試站被配置來接收所述多個半導體元件中的一個；以及控制器，其位于所述多個測試器以及所述操作裝置外部，并且通過所述測試器以及操作裝置通信端口與所述操作裝置和所述多個測試器中的每一個通信，其中所述操作裝置和所述多個測試器中的每一個之間的通信通過所述控制器進行，并且所述多個測試器中的每一個經由所述測試器側接駁板，通過操作裝置側接駁板，連接到所述多個半導體元件中的相應一個。

根據本公開的另一個實施例，提供了一種用于同時測試多個半導體元件的方法，所述方法包括：將多個測試器以及操作裝置連接到外部控制器，每一個所述測試器包括處理器和存儲器，被配置來存儲和執行用于完成所述多個半導體元件中的一個的測試的控制信號，所述操作裝置具有多個測試站，每一個測試站被配置來接收所述多個半導體元件中的一個；輸入所述多個半導體元件到所述操作裝置，所述半導體元件中的每一個被分配到單個測試器；經由所述控制器從所述多個測試器發送控制信號到所述操作裝置，以進行相應的半導體元件的測試；以及在相應分配的測試器完成測試之后，從所述操作裝置輸出每一個所述多個半導體元件。

附圖說明

通過示例的方式示出本發明，并且本發明不受附圖中示出的其實施例的限制，在附圖中，相同的附圖標記表示類似的元件。圖中的元件出于簡化和清楚的目的而示出，并且并不必然按比例繪制。顯然，某些垂直尺寸已經被相對于某些水平尺寸放大。

在附圖中：

圖1是根據本發明一個實施例的用于同時測試多個集成電路的系統的示意性框圖；以及

圖2是用于操作圖1的系統的用戶界面的實施例的屏幕截圖。

具體實施方式