[發明專利]一種料罐無效
| 申請號： | 201310509261.1 | 申請日： | 2013-10-23 |
| 公開（公告）號： | CN103846816A | 公開（公告）日： | 2014-06-11 |
| 發明（設計）人： | 郭金娥;徐信富;徐力;陳興邦 | 申請（專利權）人： | 洛陽市鼎晶電子材料有限公司 |
| 主分類號： | B24C9/00 | 分類號： | B24C9/00 |
| 代理公司： | 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019 | 代理人： | 壽寧;張華輝 |
| 地址： | 471003 河南*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 | ||
【權利要求書】：
1.一種料罐，用于硅片背面干法噴砂制造吸雜源以消除硅拋光表面氧化霧，其特征在于其包括：儲物罐及震動器，所述震動器設置于所述儲物罐使所述儲物罐內儲存的物品處于振動狀態。
2.根據權利要求1所述的料罐，其特征在于其中所述震動器為電動振動器。
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