[發明專利]一種用于提高理論光譜數據庫創建速度的方法及裝置

在審

• 申請號: 201310505175.3
• 申請日: 2013-10-23
• 公開（公告）號: CN104572742A
• 公開（公告）日: 2015-04-29
• 發明（設計）人: 張振生;徐益平;黃鯤;王鑫;施耀明
• 申請（專利權）人: 睿勵科學儀器（上海）有限公司
• 主分類號: G06F17/30
• 分類號: G06F17/30
• 代理公司: 北京漢昊知識產權代理事務所(普通合伙) 11370
• 代理人: 羅朋

1.一種用于提高理論光譜數據庫創建速度的方法，其中，包括：

-獲取光學關鍵尺寸模型在每個波長點的不同傅里葉展開階數對應的光譜數據；

-對在每個波長點的不同展開階數所獲取的光譜數據進行收斂分析，來確定該波長點的滿足預定收斂條件的最優展開階數；

-根據該光學關鍵尺寸模型在每個波長點的最優展開階數對應的光譜數據，來建立或更新所述光學關鍵尺寸模型的理論光譜數據庫。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，所述獲取光學關鍵尺寸模型在每個波長點的不同展開階數對應的光譜數據的步驟包括：

-基于不浮動所述光學關鍵尺寸模型的模型參數，來計算獲取該光學關鍵尺寸模型在每個波長點的不同展開階數對應的光譜數據。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其中，所述對在每個波長點的不同展開階數所獲取的光譜數據進行收斂分析來確定該波長點的最優展開階數的步驟包括：

-對在每個波長點的不同展開階數所獲取的光譜數據進行收斂分析，當連續預定個數的展開階數對應的光譜數據與基準階數對應的基準光譜數據的差值小于預定精度要求，則確定所述連續預定個數的展開階數中的一個展開階數為該波長點的最優展開階數。

4.根據權利要求1或2所述的方法，其中，所述對在每個波長點的不同展開階數所獲取的光譜數據進行收斂分析來確定該波長點的最優展開階數的步驟包括：

-對在每個波長點的不同展開階數所獲取的光譜數據進行收斂分析，當一個展開階數對應的光譜數據與該展開階數之前第一預定數目的展開階數和/或該展開階數之后第二預定數目的展開階數所對應的光譜數據中每一個之間的差值均小于預定精度要求，則確定該展開階數為該波長點的最優展開階數。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的方法，其中，所述根據該光學關鍵尺寸模型在每個波長點的最優展開階數對應的光譜數據來建立或更新最優展開階數對應的光譜數據的步驟包括：

-獲取該光學關鍵尺寸模型在每個波長點的最優展開階數對應的光譜數據；

-根據所述的該光學關鍵尺寸模型在每個波長點的最優展開階數的光譜數據，來建立或更新所述光學關鍵尺寸模型的理論光譜數據庫。

6.根據權利要求5所述的方法，其中，所述獲取光學關鍵尺寸模型在每個波長點的最優展開階數對應的光譜數據的步驟包括：

-基于浮動所述光學關鍵尺寸模型的模型參數，來計算獲取該光學關鍵尺寸模型在每個波長點的最優展開階數對應的光譜數據。

7.一種用于提高理論光譜數據庫創建速度的裝置，其中，包括：

理論光譜數據獲取裝置，用于獲取光學關鍵尺寸模型在每個波長點的不同傅里葉展開階數對應的理論光譜數據；

最優展開階數確定裝置，用于對在每個波長點的不同展開階數所獲取的光譜數據進行收斂分析，來確定該波長點的滿足預定收斂條件的最優展開階數；

理論光譜數據庫建立更新裝置，用于根據該光學關鍵尺寸模型在每個波長點的最優展開階數對應的光譜數據，來建立或更新所述光學關鍵尺寸模型的理論光譜數據庫。

8.根據權利要求7所述的裝置，其中，所述光譜數據獲取裝置包括：

第一光譜數據計算模塊，用于基于不浮動所述光學關鍵尺寸模型的模型參數，來計算獲取該光學關鍵尺寸模型在每個波長點的不同展開階數對應的光譜數據。

9.根據權利要求7或8所述的裝置，其中，所述最優展開階數確定裝置包括：

第一最優展開階數確定模塊，用于對在每個波長點的不同展開階數所獲取的光譜數據進行收斂分析，當連續預定個數的展開階數對應的光譜數據與基準階數對應的基準光譜數據的差值小于預定精度要求，則確定所述連續預定個數的展開階數中的一個展開階數為該波長點的最優展開階數。

10.根據權利要求7或8所述的裝置，其中，所述最優階數確定裝置包括：

第二最優展開階數確定模塊，用于對在每個波長點的不同展開階數所獲取的光譜數據進行收斂分析，當一個展開階數對應的光譜數據與該展開階數之前第一預定數目的展開階數和/或該展開階數之后第二預定數目的展開階數所對應的光譜數據中每一個之間的差值均小于預定精度要求，則確定該展開階數為該波長點的最優展開階數。