[發(fā)明專(zhuān)利]一種有機(jī)發(fā)光二極管的陽(yáng)電極

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310500097.8
• 申請(qǐng)日: 2013-10-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103594655A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 叢國(guó)芳
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 溧陽(yáng)市東大技術(shù)轉(zhuǎn)移中心有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L51/52
• 分類(lèi)號(hào): H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 南京天翼專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 32112
• 代理人: 黃明哲

1.一種有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）的陽(yáng)電極，其特征在于：所述陽(yáng)電極為ITO陽(yáng)電極，其由第一ITO層以及位于第一ITO層上的第二ITO層共同組成。

2.如權(quán)利要求1所述的陽(yáng)電極，其特征在于：

其中，第一ITO層的厚度為ITO陽(yáng)電極厚度的1/3-1/2，優(yōu)選為1/3；第二ITO層的厚度為ITO陽(yáng)電極厚度的1/2-2/3，優(yōu)選為2/3。

3.如權(quán)利要求2所述的陽(yáng)電極，其特征在于：

其中，第一ITO層在水蒸氣氛圍中沉積ITO材料而形成，并且其表面進(jìn)行了第一次處理；第二ITO層在水蒸氣氛圍中沉積ITO材料而形成，并且其表面進(jìn)行了第二次處理；其中第一ITO層經(jīng)由：在沉積腔內(nèi)通入水蒸氣，在水蒸氣的氛圍下沉積ITO材料至發(fā)光二極管的功能層上而形成；第一次處理是在等離子體腔中通過(guò)氧氣，使得氧氣等離子體化后對(duì)第一ITO層表面進(jìn)行處理；第二ITO層經(jīng)由：在沉積腔內(nèi)通入水蒸氣，在水蒸氣的氛圍下沉積ITO材料至第一ITO層上而形成；第二次處理是將第二ITO層以雙氧水浸沒(méi)，對(duì)第二ITO層表面進(jìn)行第一次紫外光照射后干燥，然后在臭氧的氛圍中對(duì)該第二ITO層表面進(jìn)行第二次紫外光照射。

4.如權(quán)利要求3所述的陽(yáng)電極，其特征在于：

所述陽(yáng)電極的功函數(shù)為5.6ev。