[發(fā)明專利]粉末沉積裝置和粉末沉積方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310498697.5
• 申請(qǐng)日: 2013-10-22
• 公開（公告）號(hào): CN103834920A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 須藤業(yè);香取健二;本村勇人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 索尼公司
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24
• 代理公司: 北京信慧永光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11290
• 代理人: 梁興龍;陳桂香

1.一種粉末沉積裝置，包括：

設(shè)置在真空容器內(nèi)并且被構(gòu)造成在垂直方向上轉(zhuǎn)動(dòng)的鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體；

設(shè)置在所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體內(nèi)部的沉積源；

筒狀粉末供給/回收部件，它鄰近所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁設(shè)置，并且被構(gòu)造成回收通過上面進(jìn)入的粉末和通過下面將粉末供給到所述內(nèi)壁；以及

蓋部件，它設(shè)置在所述粉末供給/回收部件的下面的附近，并且被構(gòu)造成在處于打開狀態(tài)時(shí)通過粉末供給/回收部件的下面將粉末供給到所述內(nèi)壁和在處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)積聚通過上面進(jìn)入所述粉末供給/回收部件內(nèi)的粉末。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粉末沉積裝置，

其中在所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體以產(chǎn)生使得粉末不會(huì)從所述內(nèi)壁脫落的離心力的程度的速度轉(zhuǎn)動(dòng)的狀態(tài)下，所述蓋部件從關(guān)閉狀態(tài)逐漸變到打開狀態(tài)而將粉末供給到所述內(nèi)壁。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的粉末沉積裝置，

其中所述粉末供給/回收部件能夠在上面與所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁分離的狀態(tài)和上面與所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁接觸或鄰近的狀態(tài)之間移動(dòng)，

其中當(dāng)所述蓋部件從關(guān)閉狀態(tài)逐漸變到打開狀態(tài)而將粉末供給到所述內(nèi)壁時(shí)，所述上面處于上面與所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁分離的狀態(tài)，以及

其中當(dāng)從所述內(nèi)壁回收粉末時(shí)，所述上面處于上面與所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁接觸或鄰近的狀態(tài)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的粉末沉積裝置，

其中，在所述蓋部件的打開狀態(tài)下通過所述粉末供給/回收部件的下面將粉末供給到所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁之后，在所述上面處于上面與所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁接觸或鄰近的狀態(tài)并且所述粉末供給/回收部件從所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁回收粉末的同時(shí)，在所述粉末供給/回收部件內(nèi)積聚粉末，而且所述蓋部件處于關(guān)閉狀態(tài)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的粉末沉積裝置，

其中被構(gòu)造成攪拌粉末的部件設(shè)置在所述粉末供給/回收部件的下面上。

6.一種粉末沉積方法，包括：

在真空容器內(nèi)設(shè)置被構(gòu)造成在垂直方向上轉(zhuǎn)動(dòng)的鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體；

在所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)部設(shè)置沉積源；

在所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體轉(zhuǎn)動(dòng)的狀態(tài)并且筒狀粉末供給/回收部件的底部處于打開狀態(tài)下，在將粉末供給到所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁后，由所述沉積源進(jìn)行沉積；

通過所述筒狀粉末供給/回收部件的上面回收供給到所述鼓形轉(zhuǎn)動(dòng)體的內(nèi)壁的粉末；以及

通過使得所述筒狀粉末供給/回收部件的下面的附近處于關(guān)閉狀態(tài)，在所述筒狀粉末供給/回收部件內(nèi)積聚回收的粉末。