[發明專利]粉末沉積裝置和粉末沉積方法

無效

• 申請號: 201310498697.5
• 申請日: 2013-10-22
• 公開（公告）號: CN103834920A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發明（設計）人: 須藤業;香取健二;本村勇人
• 申請（專利權）人: 索尼公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 梁興龍;陳桂香

相關申請的交叉參考

本申請要求于2012年11月20日提交的日本在先專利申請JP2012-253868的權益，其全部內容以引用的方式并入本文。

技術領域

本公開涉及一種在粉末的表面上進行沉積的粉末沉積裝置和在粉末的表面上進行沉積的粉末沉積方法。

背景技術

提出了當將一些物質附著在粉末的表面上時進行沉積。當進行沉積時，將要形成為涂膜的材料由于加熱等而蒸發并且使得蒸發的材料與粉末的表面碰撞。這樣，在粉末的表面上形成涂膜。

通常，在粉末的表面上的沉積需要具有復雜構造的沉積裝置。也就是說，由于沉積只能向上進行，所以需要將顆粒放在沉積源的上方。由于這個原因，所以通常提出將粉末容納在高速轉動的圓筒形容器中并且設置在圓筒形容器中的沉積源進行沉積。高速轉動圓筒形容器使得粉末由于離心力能夠通過圓筒形容器內部的上部。于是，在粉末通過圓筒形容器內部的上部時，從沉積源蒸發的材料到達粉末，從而在粉末的表面上形成涂膜。

日本專利特開No.2008-045197公開了一種使用這種圓筒形容器在粉末上進行沉積的構造。

當使用如上所述的圓筒形容器在粉末上進行沉積時，所存在的問題是，將粉末供給到圓筒形容器的供給操作和在沉積之后回收粉末的回收操作很困難。也就是說，為了使得粉末均勻分散在圓筒形容器的內表面上，最初水平地轉動圓筒形容器以施加離心力，使得粉末粘附在圓筒形容器的圓形內表面上。然后，維持轉動，使圓筒形容器處于垂直直立位置，并且此時，使用沉積源在圓筒形容器內進行沉積。

另外，以足夠高的速度轉動維持在直立狀態下的圓筒形容器，將粉末供給到圓筒形容器內以進行沉積。

然而，在這些方法的任一種中，所存在的問題是，裝置具有復雜的構造。例如，當將圓筒形容器從水平狀態移動到垂直狀態時，在真空容器中需要具有用于移動圓筒形容器的可用空間，這需要非常大型的真空容器。此外，在設置于真空空間中并高速轉動的圓筒形容器內供給粉末的情況下，需要在真空容器中設置非常復雜的粉末供給機構。

此外，在這些構造的任一種中，所存在的問題是，在沉積結束后從圓筒形容器的內部回收粉末的操作的可操作性很差。例如，在沉積結束后需要打開從真空容器取出來的圓筒形容器并且用抽吸裝置吸出分散在容器內的粉末以進行回收。所存在的問題是，這種回收操作的可操作性很差，是非常繁雜的操作。

發明內容

希望提供一種能夠有效地在粉末上進行沉積的粉末沉積裝置和粉末沉積方法。

根據本公開實施方案的粉末沉積裝置包括：設置在真空容器內并且被構造成在垂直方向上轉動的鼓形轉動體；設置在所述鼓形轉動體內部的沉積源；筒狀粉末供給/回收部件；以及設置在所述粉末供給/回收部件的下面的附近的蓋部件。

所述筒狀粉末供給/回收部件鄰近所述鼓形轉動體的內壁設置，并且被構造成在回收通過上面進入的粉末的同時，通過下面將粉末供給到所述內壁。

所述蓋部件被構造成在處于打開狀態時通過粉末供給/回收部件的下面將粉末供給到所述內壁和在處于關閉狀態時積聚通過上面進入所述粉末供給/回收部件內的粉末。

此外，根據本公開的實施方案的粉末沉積方法包括：(1)在真空容器內設置被構造成在垂直方向上轉動的鼓形轉動體；(2)在所述鼓形轉動體的內部設置沉積源；(3)在所述鼓形轉動體轉動的狀態并且筒狀粉末供給/回收部件的底部處于打開狀態下，在將粉末供給到所述鼓形轉動體的內壁后，由所述沉積源進行沉積；(4)通過所述筒狀粉末供給/回收部件的上面回收供給到所述鼓形轉動體的內壁的粉末；以及(5)通過使得所述筒狀粉末供給/回收部件的下面的附近處于關閉狀態，在所述筒狀粉末供給/回收部件內積聚回收的粉末。

根據本公開，使用筒狀粉末供給/回收部件，將粉末供給到設置有沉積源的鼓形轉動體或從其回收粉末可以在真空容器內進行。因此，在粉末上進行沉積時，可以有效地進行粉末的供給和回收。

附圖說明

圖1是示出作為根據本公開實施方案的例子的粉末沉積裝置的構造的側視圖；

圖2是示出作為根據本公開實施方案的例子的粉末沉積裝置的構造的立體圖；

圖3是示出包含在作為根據本公開實施方案的例子的粉末沉積裝置中的粉末供給/回收部件的下部的立體圖；

圖4是示出作為根據本公開實施方案的例子的沉積操作的流程的流程圖；

圖5是作為根據本公開實施方案的例子的沉積操作過程(第一部分)的說明圖；

圖6是作為根據本公開實施方案的例子的沉積操作過程(第二部分)的說明圖；