[發明專利]有機發光二極管顯示器的制造方法及等離子工藝方法

有效

• 申請號: 201310498653.2
• 申請日: 2013-10-22
• 公開（公告）號: CN104134759B
• 公開（公告）日: 2018-02-06
• 發明（設計）人: 李宰瑛
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L21/66;C23C14/48
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司11018
• 代理人: 于未茗,康泉

技術領域

本公開的示例性實施例涉及有機發光二極管(OLED)顯示器的制造方法以及在包括多個像素的母基板上執行等離子體工藝的方法。

背景技術

有機發光二極管顯示器包括兩個電極和插在兩個電極之間的有機發光層。來自一個電極(例如陰極)的電子可以和來自另一電極(例如陽極)的空穴在有機發光層中結合，從而形成激子。由于這種結合，當激子釋放能量時就可發光。

有機發光二極管(OLED)顯示器的陽極由例如ITO(氧化銦錫)或IZO(氧化銦鋅)之類的透明材料形成。在形成陽極之后可以對陽極進行清潔，然后可以用氧(O₂)等離子體表面處理工藝進行處理。氧等離子體表面處理工藝降低陽極的功函數，以增加空穴注入量并在陽極移除剩余層，從而提高驅動性能(例如驅動電壓)、電壓-電流密度曲線、發光效率和壽命。

然而，現有的氧等離子體表面處理工藝并不根據顏色區分像素。等離子體工藝可以在形成有陽極的整個母基板上進行，但是不能對于各種顏色的像素控制陽極的表面特性，例如空穴注入量。結果，可不能對于每種顏色的像素控制優化表面特性。

在此背景技術部分公開的上述信息只是用于增加對所公開主題的背景的理解，因此可能包含并不構成本領域普通技術人員已經知曉的現有技術的信息。

發明內容

本公開的示例性實施例提供一種有機發光二極管(OLED)顯示器的制造方法，通過對于紅像素、綠像素和藍像素不同地使用氧等離子體進行表面處理工藝，使得對于各個像素具有優化的驅動性能，以及在包括多個像素的母基板上執行等離子體工藝的方法。

本公開的另外特征將在隨后的描述中提出，并從描述中部分地變得明顯，或者可以通過實踐所公開主題而得到。

本公開的示例性實施例公開了一種有機發光二極管(OLED)顯示器的制造方法。該方法包括形成母基板，該母基板包括多個面板，每個面板形成有多個陽極，每個陽極對應于所述多個像素之一，以及連接到面板的各個陽極的測試焊盤；并對測試焊盤施加等離子體電壓，以執行等離子體表面處理工藝。對測試焊盤施加等離子體電壓包括對于所述多個像素中的第一像素施加第一等離子體電壓和對于所述多個像素中的第二像素施加第二等離子體電壓。

本公開的示例性實施例還公開了一種在包括多個像素的母基板上執行等離子體工藝的方法。該方法包括經由母基板的測試焊盤，對和第一顏色相關聯的第一像素、和第二顏色相關聯的第二像素、和第三顏色相關聯的第三像素中的一個施加第一電壓，并經由測試焊盤，對第一像素、第二像素和第三像素中的另外一個施加第二電壓，第二電壓不同于第一電壓。

可以理解前述總的說明和后述詳細說明是示例性和解釋性的，用來對所要求權利的所公開主題提供進一步解釋。

附圖說明

被包括以提供對所公開主題的進一步理解并包含在申請文件中同時構成申請文件一部分的附圖示出了所公開主題的示例性實施例，并和說明書一起用來解釋所公開主題的原理。

圖1是根據本公開示例性實施例的有機發光二極管(OLED)顯示器的制造方法的流程圖。

圖2是根據本公開示例性實施例的母基板的俯視圖。

圖3是根據本公開示例性實施例的向母基板施加等離子體電壓的狀態的視圖。

圖4是根據本公開示例性實施例的有機發光二極管(OLED)顯示器的等效電路。

具體實施方式

下面參考附圖更充分地描述所公開主題的示例性實施例。然而，所公開主題可以通過多種不同形式實施，不應當被解釋為局限于這里提出的示例性實施例。相反，提供示例性實施例的目的在于使得公開充分和完整，并且可以對本領域技術人員表達所公開主題的范圍。在圖中，為了清楚起見，可能對層和區域的尺寸和相對尺寸進行了放大。圖中相似的附圖標記代表相似的元件。

可以理解當元件或層被提及為在另一元件或層“上”，或者“連接到”、“聯接到”另一元件或層時，它可以是直接在另一元件或層上，或者直接連接或直接聯接到另一元件或層，也可以存在中間元件或中間層。相反，當元件或層被提及為“直接”在另一元件或層“上”，或者“直接連接到”、“直接聯接到”另一元件或層時，則不存在中間元件或中間層。如這里所使用的，術語“和/或”包括一個或多個相關聯的列出項目的任意和所有組合。還應當理解出于本公開的目的，“X、Y和Z中至少一個”可以被解釋為只有X、只有Y、只有Y，或者X、Y和Z中兩項或更多項的任意組合(例如XYZ、XY、YZ、XZ)。