[發明專利]有機發光二極管顯示器的制造方法及等離子工藝方法

有效

• 申請號: 201310498653.2
• 申請日: 2013-10-22
• 公開（公告）號: CN104134759B
• 公開（公告）日: 2018-02-06
• 發明（設計）人: 李宰瑛
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L21/66;C23C14/48
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司11018
• 代理人: 于未茗,康泉

1.一種有機發光二極管顯示器的制造方法，包括：

形成母基板，該母基板包括：

多個面板，每個面板形成有多個陽極，每個陽極對應于多個像素之一；和

連接到所述面板的各個陽極的測試焊盤；和

對所述測試焊盤施加等離子體電壓，以進行等離子體表面處理工藝，

其中對所述測試焊盤施加等離子體電壓包括對于所述多個像素中的第一像素施加第一等離子體電壓和對于所述多個像素中的第二像素施加第二等離子體電壓，并且

其中所述第一等離子體電壓不同于所述第二等離子體電壓。

2.如權利要求1所述的方法，其中：

所述測試焊盤包括連接到所述多個像素中的紅像素的紅測試焊盤、連接到所述多個像素中的綠像素的綠測試焊盤和連接到所述多個像素中的藍像素的藍測試焊盤；并且

所述紅測試焊盤、所述綠測試焊盤和所述藍測試焊盤中的一個被施加以所述第一等離子體電壓，所述紅測試焊盤、所述綠測試焊盤和所述藍測試焊盤中另外一個被施加以所述第二等離子體電壓。

3.如權利要求1所述的方法，其中形成所述母基板包括：

在每個面板中形成所述多個陽極；和

在所述母基板的邊緣部分處形成所述測試焊盤。

4.如權利要求3所述的方法，其中施加等離子體電壓包括：

通過探針向所述測試焊盤施加等離子體電壓。

5.如權利要求3所述的方法，進一步包括：

切去所述母基板的所述邊緣部分。

6.一種在包括多個像素的母基板上執行等離子體工藝的方法，該方法包括：

經由所述母基板的測試焊盤，對和第一顏色相關聯的第一像素、和第二顏色相關聯的第二像素、和第三顏色相關聯的第三像素中的一個施加第一電壓；和

經由所述測試焊盤，對所述第一像素、所述第二像素和所述第三像素中的另外一個施加第二電壓，其中所述第二電壓不同于所述第一電壓。

7.如權利要求6所述的方法，進一步包括：

形成包括所述測試焊盤和多個面板的所述母基板，所述面板的每一個包括多個陽極，所述多個陽極包括第一陽極、第二陽極和第三陽極，

其中所述第一陽極被設置在所述第一像素中，所述第二陽極被設置在所述第二像素中，所述第三陽極被設置在所述第三像素中。

8.如權利要求7所述的方法，其中形成所述母基板包括形成用于將所述測試焊盤連接到所述多個陽極的連接線，并且

其中經由所述連接線施加所述第一電壓和所述第二電壓。

9.如權利要求7所述的方法，其中所述測試焊盤包括第一測試焊盤、第二測試焊盤和第三測試焊盤，并且

其中所述第一測試焊盤經由所述第一陽極連接到所述第一像素，所述第二測試焊盤經由所述第二陽極連接到所述第二像素，所述第三測試焊盤經由所述第三陽極連接到所述第三像素。

10.如權利要求6所述的方法，其中所述第一顏色包括紅色，所述第二顏色包括綠色，所述第三顏色包括藍色。