[發明專利]LPCVD自動補水系統

有效

• 申請號: 201310493116.9
• 申請日: 2013-10-18
• 公開（公告）號: CN103526181A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發明（設計）人: 向舟翊;李家海;李朝陽
• 申請（專利權）人: 四川飛陽科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/40
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王學強;魏曉波

技術領域

本發明涉及一種補水系統，具體的說是涉及一種濕氧SIO₂工藝爐管上使用的LPCVD自動補水系統。

背景技術

濕氧SIO₂工藝主要是通過使用LPCVD制作SIO₂薄膜，其中在工藝爐管上連接的補水裝置是必不可少的，補水裝置會源源不斷的提供加工過程中所需要的水分，目前做濕氧SIO₂工藝所需要的水汽需要通過工作人員定期像補水系統中加入高純水，但是有時候由于各種外因或人為因素，導致沒有及時加水的情況發生，而加水不及時將會影響SIO₂成膜的速率降低以及膜的物理性質變差，大大降低了SIO₂膜的生產效率與成品率，進而提高了生產成本，加重了企業的負擔，不利于企業的發展。

發明內容

有鑒于此，本發明提供一種LPCVD自動補水系統，能夠更好的控制補水的時間與補水量，避免發生補水不及時導致的SIO₂成膜速率降低以及物理性質變差，提高了SIO₂膜的生產效率與成品率，降低了生產成本，促進了企業的健康發展。

為解決以上技術問題，本發明的技術方案是：

LPCVD自動補水系統，包括濕氧SIO2工藝爐管，所述濕氧SIO2工藝爐管上連接有補水系統；所述補水系統包括儲水罐，該儲水罐通過水蒸氣輸出管與濕氧SIO2工藝爐管相連接，在儲水罐上端還設置有高純氮氣輸入管，儲水罐上還設置有進水口，在進水口上安裝有補水裝置，儲水罐下方設置有加熱器，加熱器上還設置有重力控制裝置，重力控制裝置與補水裝置相連接。

進一步的，上述補水裝置包括進水管，在進水管的端部固定在進水口上，在進水管上設置有兩個球閥，在兩個球閥之間還設置有隔膜閥，在隔膜閥上設置有空氣管道，空氣管道上還設置有一個球閥，空氣管道上的球閥與隔膜閥之間還安裝有電磁閥，補水裝置通過該電磁閥與重力控制裝置相連。

作為優選，所述空氣管道中有高壓空氣，進水管中有高純水。

再進一步的，上述重力控制裝置包括設置在加熱器下方的重力計，重力計上連接有重力控制器，該重力控制器還同時連接在電磁閥上。

作為優選，所述水蒸氣輸出管的下端管口設置在儲水罐內部，且靠近儲水罐上端面。

作為優選，所述高純氮氣輸入管連接在高純氮氣源上，該高純氮氣輸入管下端設置在儲水罐內部，且靠近儲水罐底面。

與現有技術相比，本發明有以下有益效果：

本發明設置有重力控制裝置，能夠通過儲水罐中水量的多少來自行判斷是否需要添加高純水，以及調整添加高純水的速度，利用重力控制裝置來代替人工加水，能夠很好的掌握加水的時間，從而大大提高了SIO₂膜的生產效率與成品率，同時進一步降低了生產成本，同時還促進了企業的健康發展；本發明設置有補水裝置，能夠通過球閥來調整各個管路中液體或氣體的固定流量，從而避免了在添加高純水的過程中進水管不會因過大的沖擊力而從進水口脫離，也保證了重力控制裝置的精準性；本發明結構簡單，使用方便，生產跟加工的成本較低，能夠很好的進行大規模的生產與使用。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖。

圖上附圖標記為：1—球閥；2—進水管；3—隔膜閥；4—重力控制器；5—進水口；6—重力計；7—加熱器；8—儲水罐；9—水蒸氣輸出管；10—高純氮氣輸入管；11—電磁閥；12—空氣管道。

具體實施方式

本發明的核心思路是，提供一種LPCVD自動補水系統，能夠更好的控制補水的時間與補水量，避免發生補水不及時導致的SIO₂成膜速率降低以及物理性質變差，提高了SIO₂膜的生產效率與成品率，降低了生產成本，促進了企業的健康發展。

為了使本領域的技術人員更好地理解本發明的技術方案，下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步的詳細說明。

實施例

如圖1所示，LPCVD自動補水系統，包括濕氧SIO2工藝爐管，所述濕氧SIO2工藝爐管上連接有補水系統；所述補水系統包括儲水罐8，該儲水罐8通過水蒸氣輸出管9與濕氧SIO2工藝爐管相連接，在儲水罐8上端還設置有高純氮氣輸入管10，儲水罐8上還設置有進水口5，在進水口5上安裝有補水裝置，儲水罐8下方設置有加熱器7，加熱器7上還設置有重力控制裝置，重力控制裝置與補水裝置相連接。