[發明專利]LPCVD自動補水系統

有效

• 申請號: 201310493116.9
• 申請日: 2013-10-18
• 公開（公告）號: CN103526181A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發明（設計）人: 向舟翊;李家海;李朝陽
• 申請（專利權）人: 四川飛陽科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/40
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王學強;魏曉波

1.LPCVD自動補水系統，包括濕氧SIO₂工藝爐管，其特征在于，所述濕氧SIO₂工藝爐管上連接有補水系統；所述補水系統包括儲水罐（8），該儲水罐（8）通過水蒸氣輸出管（9）與濕氧SIO₂工藝爐管相連接，在儲水罐（8）上端還設置有高純氮氣輸入管（10），儲水罐（8）上還設置有進水口（5），在進水口（5）上安裝有補水裝置，儲水罐（8）下方設置有加熱器（7），加熱器（7）上還設置有重力控制裝置，重力控制裝置與補水裝置相連接。

2.根據權利要求1所述的LPCVD自動補水系統，其特征在于，所述補水裝置包括進水管（2），在進水管（2）的端部固定在進水口（5）上，在進水管（2）上設置有兩個球閥（1），在兩個球閥（1）之間還設置有隔膜閥（3），在隔膜閥（3）上設置有空氣管道（12），空氣管道（12）上還設置有一個球閥（1），空氣管道（12）上的球閥（1）與隔膜閥（3）之間還安裝有電磁閥（11），補水裝置通過該電磁閥（11）與重力控制裝置相連。

3.根據權利要求2所述的LPCVD自動補水系統，其特征在于，所述空氣管道（12）中有高壓空氣，進水管（2）中有高純水。

4.根據權利要求3所述的LPCVD自動補水系統，其特征在于，所述重力控制裝置包括設置在加熱器（7）下方的重力計（6），重力計（6）上連接有重力控制器（4），該重力控制器（4）還同時連接在電磁閥（11）上。

5.根據權利要求4所述的LPCVD自動補水系統，其特征在于，所述水蒸氣輸出管（9）的下端管口設置在儲水罐（8）內部，且靠近儲水罐（8）上端面。

6.根據權利要求5所述的LPCVD自動補水系統，其特征在于，所述高純氮氣輸入管（10）連接在高純氮氣源上，該高純氮氣輸入管（10）下端設置在儲水罐（8）內部，且靠近儲水罐（8）底面。