[發(fā)明專利]一種透射電子顯微鏡樣品的固定裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310491553.7
• 申請(qǐng)日: 2013-10-18
• 公開（公告）號(hào): CN103531425A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高林;史燕萍;陳強(qiáng);高金德
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/20
• 分類號(hào): H01J37/20
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 陸花

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造裝備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及透射電子顯微鏡樣品在樣品桿上的固定裝置。

背景技術(shù)

透射電子顯微鏡（Transmission?Electron?Microscope，以下簡(jiǎn)稱未TEM），可以同時(shí)分析微區(qū)的組織形態(tài)、晶體結(jié)構(gòu)、組成元素、化學(xué)鍵結(jié)狀態(tài)以及電子分布結(jié)構(gòu)等，是固體材料分析強(qiáng)有力的工具之一。

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展，技術(shù)的不斷改良，芯片尺寸的不斷縮減，材料生長(zhǎng)日趨多元化、立體化、微型化，各種類型的異質(zhì)材料中存在的界面、應(yīng)變態(tài)、應(yīng)變弛豫及隨后的晶格失配位錯(cuò)的形成等，為TEM的使用提供了廣闊的發(fā)展空間。

TEM的成像原理是高能電子束穿透樣品，透射電子經(jīng)過聚焦與放大，采用探測(cè)器收集信號(hào)并成像。由于電子易散射和被物體吸收，所以透射電子顯微鏡對(duì)樣品的制樣要求較高。TEM樣品直徑為3mm，樣品厚度的要求依據(jù)加速電壓的不同而有所不同，一般在100nm左右。

參見圖1a、1b，電鏡觀測(cè)前，采用鑷子將樣品（1）放入樣品桿（3）的預(yù)定位置，采用彈片（4，通常為銅片）壓住樣品，而彈片（4）通過一字螺絲（2）固定至所述樣品桿（3），由此實(shí)現(xiàn)彈片（4）將樣品（1）壓緊在樣品桿（3）上。但在操作過程中，由于經(jīng)常使用螺絲刀用力旋轉(zhuǎn)一字螺絲，直至完全旋入樣品桿并固定住，長(zhǎng)期磨損會(huì)導(dǎo)致一字螺絲出現(xiàn)滑絲，甚至可能沒有將樣品完全固定在樣品桿上，導(dǎo)致樣品在透射電鏡觀測(cè)過程中掉落至鏡筒中，最終導(dǎo)致樣品遺失，甚至電鏡出現(xiàn)故障。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是現(xiàn)有技術(shù)中TEM樣品桿上的一字螺絲長(zhǎng)期磨損導(dǎo)致滑絲，進(jìn)而影響樣品掉落的不足。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是：一種透射電子顯微鏡樣品的固定裝置，包括：用于承載樣品的樣品桿，彈片，還包括固定連接在所述樣品桿上的彈簧螺絲，所述彈簧螺絲穿過所述彈片的第一端；所述彈簧螺絲具有鎖緊狀態(tài)以及釋放狀態(tài)，當(dāng)該彈簧螺絲位于鎖緊狀態(tài)時(shí)，所述彈片的第二端抵靠在所述樣品上；當(dāng)該彈簧螺絲位于釋放狀態(tài)時(shí)，所述彈片與所述樣品脫離。

優(yōu)選的，所述彈片為銅片。

優(yōu)選的，所述彈片的第二端具有C型的卡爪，當(dāng)該彈簧螺絲位于鎖緊狀態(tài)時(shí)，該卡爪與樣品的周邊接觸。

優(yōu)選的，除卡爪之外的所述彈片的其它部分相對(duì)卡爪形成遠(yuǎn)離樣品桿的彎折。

采用上述結(jié)構(gòu)，通過手工操作彈簧螺絲即可實(shí)現(xiàn)樣品的固定和取出。這種方法解決了螺絲固定過程中出現(xiàn)的滑絲問題，有效地縮短了透射電子顯微鏡樣品固定與取出的時(shí)間，提高了透射電子顯微鏡的使用效率，延長(zhǎng)了固定螺絲的使用壽命，并且降低了使用成本。

附圖說明

通過附圖中所示的本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的更具體說明，本發(fā)明的上述及其它目的、特征和優(yōu)勢(shì)將更加清晰。在全部附圖中相同的附圖標(biāo)記指示相同的部分。并未刻意按實(shí)際尺寸等比例縮放繪制附圖，重點(diǎn)在于示出本發(fā)明的主旨。

圖1a、1b是現(xiàn)有技術(shù)中樣品固定裝置的俯視圖、立體圖。

圖2a、2b是本發(fā)明的樣品固定裝置的俯視圖、立體圖；

圖3為彈簧螺絲連接彈片的放大圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例作詳細(xì)說明：本實(shí)施例在以本發(fā)明技術(shù)方案為前提下進(jìn)行實(shí)施，給出了詳細(xì)的實(shí)施方式，但本發(fā)明的保護(hù)范圍不限于下述的實(shí)施例。

參見圖2a、2b以及圖3，本發(fā)明所涉及的透射電子顯微鏡樣品的固定裝置包括：用于承載樣品1的樣品桿3，固定連接在所述樣品桿3上的彈簧螺絲5，以及彈片4，所述彈簧螺絲5穿過所述彈片4的第一端。所述彈簧螺絲5具有鎖緊狀態(tài)以及釋放狀態(tài)，當(dāng)該彈簧螺絲5位于鎖緊狀態(tài)時(shí)，所述彈片4的第二端抵靠在所述樣品1上，此時(shí)，彈簧螺絲5自身的彈簧壓力傳遞至彈片，能夠確保彈片4將樣品1壓緊于樣品桿3上；當(dāng)該彈簧螺絲5位于釋放狀態(tài)時(shí)，所述彈片4與所述樣品脫離，此時(shí)可以便于取放樣品。所述彈簧螺絲5的鎖緊狀態(tài)與釋放狀態(tài)之間的轉(zhuǎn)變通過直接手工操作彈簧螺絲5即可實(shí)現(xiàn)，不需要任何工具。所述彈簧螺絲5可以采用現(xiàn)有技術(shù)。

其中所述彈片4優(yōu)選采用銅片，具有彈性優(yōu)良以及耐磨等優(yōu)點(diǎn)。所述彈片4的第二端具有C型的卡爪，當(dāng)該彈簧螺絲位于鎖緊狀態(tài)時(shí)，該卡爪與樣品1的周邊接觸，因而不會(huì)對(duì)樣品1造成污染與損壞。除卡爪之外的所述彈片4的其它部分相對(duì)卡爪形成遠(yuǎn)離樣品桿3的彎折，以確保僅有卡爪壓緊在樣品1上，避免其它部分與樣品的接觸。

以上所述的樣品的固定裝置具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1.縮短了透射電子顯微鏡樣品固定與取出的時(shí)間；

2.提高了透射電子顯微鏡的使用效率；