[發明專利]一種透射電子顯微鏡樣品的固定裝置無效
| 申請號： | 201310491553.7 | 申請日： | 2013-10-18 |
| 公開（公告）號： | CN103531425A | 公開（公告）日： | 2014-01-22 |
| 發明（設計）人： | 高林;史燕萍;陳強;高金德 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/20 | 分類號： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陸花 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 透射 電子顯微鏡 樣品 固定 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種透射電子顯微鏡樣品的固定裝置，包括：用于承載樣品的樣品桿，以及彈片，其特征在于，還包括固定連接在所述樣品桿上的彈簧螺絲，所述彈簧螺絲穿過所述彈片的第一端；所述彈簧螺絲具有鎖緊狀態以及釋放狀態，當該彈簧螺絲位于鎖緊狀態時，所述彈片的第二端抵靠在所述樣品上；當該彈簧螺絲位于釋放狀態時，所述彈片與所述樣品脫離。
2.如權利要求1所述的固定裝置，其特征在于：所述彈片為銅片。
3.如權利要求1所述的固定裝置，其特征在于：所述彈片的第二端具有C型的卡爪，當該彈簧螺絲位于鎖緊狀態時，該卡爪與樣品的周邊接觸。
4.如權利要求3所述的固定裝置，其特征在于：除卡爪之外的所述彈片的其它部分相對卡爪形成遠離樣品桿的彎折。
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