[發(fā)明專利]一種基于質(zhì)譜儀的自反饋氣體定量裝置及其使用方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310482967.3 | 申請日： | 2013-10-15 |
| 公開（公告）號： | CN103529152A | 公開（公告）日： | 2014-01-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王新鋒;余堃;田先清;李哲;趙穎彬 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國工程物理研究院化工材料研究所 |
| 主分類號： | G01N30/72 | 分類號： | G01N30/72;G01N35/10;G01N35/00 |
| 代理公司： | 四川省成都市天策商標(biāo)專利事務(wù)所 51213 | 代理人： | 劉興亮 |
| 地址： | 621000*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 質(zhì)譜儀 反饋 氣體 定量 裝置 及其 使用方法 | ||
1.一種基于質(zhì)譜儀的自反饋氣體定量裝置，包括質(zhì)譜儀；其特征在于：還包括控制系統(tǒng)、配氣系統(tǒng)、壓力控制器、抽氣裝置、至少一個控制閥、至少一個進(jìn)樣口；所述抽氣裝置通過連接管與壓力控制器連接；所述配氣系統(tǒng)通過連接管與所述控制閥連接；所述進(jìn)樣口通過連接管與所述控制閥連接；所述控制閥與所述壓力控制器通過第一三通接頭與所述質(zhì)譜儀連接；所述質(zhì)譜儀與所述控制系統(tǒng)電聯(lián)接；所述配氣系統(tǒng)與所述控制系統(tǒng)電聯(lián)接；所述控制閥與所述控制系統(tǒng)電聯(lián)接；所述壓力控制器與所述控制系統(tǒng)電聯(lián)接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于質(zhì)譜儀的自反饋氣體定量裝置，其特征在于所述的壓力控制器與所述第一三通接頭之間通過連接管連接有壓力變送器；所述壓力變送器與所述控制系統(tǒng)電聯(lián)接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于質(zhì)譜儀的自反饋氣體定量裝置，其特征在于所述的壓力變送器與所述壓力控制器之間設(shè)置有第二三通接頭；所述第二三通接頭通過連接管連接有放空閥；所述放空閥與所述控制系統(tǒng)電聯(lián)接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于質(zhì)譜儀的自反饋氣體定量裝置，其特征在于所述的基于質(zhì)譜儀的自反饋氣體定量裝置還包括恒溫裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于質(zhì)譜儀的自反饋氣體定量裝置，其特征在于所述的恒溫裝置上設(shè)置有溫度傳感器，所述溫度傳感器與所述控制系統(tǒng)電聯(lián)接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于質(zhì)譜儀的自反饋氣體定量裝置，其特征在于所述的控制閥是多路切換電動閥。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于質(zhì)譜儀的自反饋氣體定量裝置，其特征在于所述的控制系統(tǒng)是計算機(jī)、PLC、集成電路塊中的一種；所述控制系統(tǒng)包括I/O開關(guān)控制單元和模/數(shù)轉(zhuǎn)換器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于質(zhì)譜儀的自反饋氣體定量裝置，其特征在于所述的配氣系統(tǒng)是靜態(tài)配氣系統(tǒng)或動態(tài)配氣系統(tǒng)中的一種。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于質(zhì)譜儀的自反饋氣體定量裝置，其特征在于所述的連接管是物化性質(zhì)穩(wěn)定的材料。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9任一權(quán)利要求所述的基于質(zhì)譜儀的自反饋氣體定量裝置的使用方法，其特征在于所述的使用方法包括以下步驟：
將裝置與待測樣品容器或管路連接，初始化動態(tài)自反饋定量裝置，檢測連接的密封性；
將控制閥切換至關(guān)閉狀態(tài)，啟動所述抽氣裝置，打開壓力控制裝置的開關(guān)；當(dāng)氣路系統(tǒng)中為真空時，將控制閥切換至樣品位置，氣路系統(tǒng)中壓強(qiáng)穩(wěn)定后，啟動質(zhì)譜儀對氣路系統(tǒng)中的樣品氣的組成和響應(yīng)進(jìn)行測試，同時測量氣路系統(tǒng)中的壓力；
根據(jù)測得的響應(yīng)，對氣體濃度進(jìn)行估算，根據(jù)估算結(jié)果，調(diào)整標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度，同時調(diào)整標(biāo)準(zhǔn)氣體進(jìn)樣壓力與樣品進(jìn)樣壓力一致，測量標(biāo)準(zhǔn)氣體的響應(yīng)；
利用外標(biāo)法對樣品進(jìn)行定量，如果樣品濃度與標(biāo)樣濃度偏差不滿足要求，再次根據(jù)樣品濃度對標(biāo)準(zhǔn)氣體濃度進(jìn)行調(diào)整，重復(fù)標(biāo)樣測試，直至樣品濃度與標(biāo)樣濃度偏差滿足要求。
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