[發明專利]晶棒的拋光處理方法無效
| 申請號： | 201310477542.3 | 申請日： | 2013-10-14 |
| 公開（公告）號： | CN103522149A | 公開（公告）日： | 2014-01-22 |
| 發明（設計）人： | 劉耀峰;潘振東 | 申請（專利權）人： | 無錫榮能半導體材料有限公司 |
| 主分類號： | B24B21/02 | 分類號： | B24B21/02 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知識產權代理有限公司 11249 | 代理人： | 高玉濱 |
| 地址： | 214183 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拋光 處理 方法 | ||
【權利要求書】：
1.晶棒的拋光處理方法，包括：
第一步，將晶棒浸泡在水中，保持至少5分鐘；
第二步，將晶棒取出，并將晶棒的兩端固定在旋轉加工工作臺上；
第三步，旋轉晶棒，并且利用寬度5cm左右的粗砂布，沿著晶棒的一端向另一端以20cm/s的速度往復移動，進行第一次打磨；
第四步，旋轉晶棒，并且利用寬度10cm左右的細砂布，沿著晶棒的一端向另一端以25cm/s的速度往復移動，進行第二次打磨；
第五步，旋轉晶棒，并且利用寬度10cm左右的沾水細砂布，沿著晶棒的一端向另一端以15cm/s的速度往復移動，進行第三次打磨；
第六步，風干。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于無錫榮能半導體材料有限公司，未經無錫榮能半導體材料有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201310477542.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種多功能自卸車
- 下一篇：一種輕型的雙層汽車腳墊
