[發明專利]一種電鍍銠層的方法

有效

• 申請號: 201310474442.5
• 申請日: 2013-10-12
• 公開（公告）號: CN103484905A
• 公開（公告）日: 2014-01-01
• 發明（設計）人: 于金剛;陳曉青;焦飛鵬;蔣新宇
• 申請（專利權）人: 中南大學
• 主分類號: C25D3/50
• 分類號: C25D3/50;C25D5/34
• 代理公司: 長沙市融智專利事務所 43114
• 代理人: 袁靖

1.一種電鍍銠層的方法，包括工件鉬基片預處理和電鍍銠的步驟，其特征在于，在工件預處理和電鍍銠的步驟之間還依次有預鍍、高溫結晶的過程。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述的預鍍過程：將預處理后的工件在30-60℃攪拌下置入含有硫酸銠濃度為1.0～2.0克/升、硫酸濃度為15-45克/升的預鍍液中放置15-180秒，然后調節槽電壓為2.5～6.0V，調節槽電流為1.0-3.0A/dm^-3，電鍍0.5-3.0分鐘；取出工件，用雙蒸水快速沖洗，拭去表面水，并以80～150℃熱風快速吹干。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述的高溫結晶過程：將經過預鍍的工件在10-5Pa真空條件下升溫至800～1200℃，處理15～30分鐘，通氬氣保護下，降至室溫。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述的預處理過程：

(1)將工件于丙酮中3-20MHz超聲強度下處理0.5～1.5小時；

(2)將上述工件取出，用雙蒸水超聲處理0.2～1.0小時；

(3)將上述工件取出，用質量分數為1～30%的雙氧水于30～50℃下處理3～10分鐘；

(4)將上述工件取出，置于新的質量分數為1～30%的雙氧水溶液中，超聲1-5分鐘后，繼續加入氫氧化鈉超聲處理，氫氧化鈉用量為雙氧水溶液質量分數的0.1～10.0%；待溶液變為紅色，取出工件，用雙蒸水洗滌后，再以雙蒸水超聲處理3次，每次處理0.2～0.8小時；

(5)取出上述工件，擦干后，以80～150℃熱風快速吹干，備用。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述的電鍍銠的過程：

將高溫結晶處理過的工件置于硫酸銠濃度為3.0～4.0克/升、硫酸濃度為15-45克/升、氨基磺酸鹽含量為10-40克/升的電鍍液中，在30-60℃調節槽電壓為2.5～6.0V，調節槽電流為1.0-3.0A/dm^-3，電鍍3.0-30.0分鐘；取出后，用雙蒸水快速沖洗，拭去表面水，并以80～150℃熱風快速吹干。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述的氨基磺酸鹽包括氨基磺酸鎂、氨基磺酸鈣、氨基磺酸鋇中的一種或幾種。