[發(fā)明專利]一種具有預退火功能的勻膠機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310469862.4
• 申請日: 2013-10-10
• 公開（公告）號: CN103495529A
• 公開（公告）日: 2014-01-08
• 發(fā)明（設計）人: 黃志明;歐陽程;周煒;吳敬;高艷卿;龍芳;褚君浩
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海技術物理研究所
• 主分類號: B05C9/14
• 分類號: B05C9/14;B05C5/02;B05C11/00;B05C11/08;B05C11/10
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 郭英

1.一種具有預退火功能的勻膠機，包括注膠裝置，加熱裝置，散熱裝置和勻膠機四部分，其特征在于：

所述的勻膠機（1）用于固定襯底片并旋涂溶膠；勻膠機（1）左側為注膠裝置，活塞塑料注射器（11）和磨砂質玻璃注射器（10）分別用來汲取和寄存溶膠，Y型三通（6）連接第一單向止水閥（4）、常閉式水閥（5）、儲液瓶（8）、磨砂質玻璃注射器（10）、活塞塑料注射器（11）和第二單向止水閥（12），利用兩個單向止水閥（4,12）來控制液體流動方向；滴管（3）固定在二維平移臺上，利用升降臺和二維平移臺（7）控制滴膠口的方位；在磨砂質玻璃注射器（10）的推桿上添加合適重量的砝碼（9），依靠砝碼（9）的重力將推桿下壓，從而將溶膠從滴管中逐滴擠出到襯底片上；利用乳膠管連接Y型三通（6）和第一單向止水閥（4）兩部分，并在中間設計常閉式水閥（5），通過手動調節(jié)常閉式水閥（5）的開關狀態(tài)可控制滴管的滴膠過程；

勻膠機（1）上方為加熱裝置，用220V交流電（22）為275W紅外燈（14）提供電壓，通過觸點開關（15）、繼電器（16）和限流電阻（17）控制紅外燈的實際功率，進而控制樣品的預退火溫度，實現(xiàn)薄膜的預退火功能；紅外燈（22）靠近時，觸點開關（15）閉合，限流電阻（17）被短路，紅外燈（22）功率達到最大，襯底表面溫度可達到230-250℃，所涂覆薄膜中的有機物質將在數(shù)十秒內全部逸出或燒盡；紅外燈（22）遠離時，觸點開關（15）斷開，限流電阻（17）接入，紅外燈（22）功率減小變暗，可進行涂膜操作；

注膠裝置右側為散熱裝置，儲水盒（20）用于存儲散熱用水，潛水泵（21）使水在銅管中循環(huán)；冷卻水通過潛水泵（21）流經環(huán)繞于內膽的散熱銅管（13）為勻膠機內膽降溫，經散熱水排（19）將內膽的熱量散開，從而對水進行降溫，并促進加熱裝置內外的熱量和氣體交換，排出經加熱后逸出的有機物質。