[發明專利]一種液體定量供給裝置

在審

• 申請號: 201310469511.3
• 申請日: 2013-10-09
• 公開（公告）號: CN104555870A
• 公開（公告）日: 2015-04-29
• 發明（設計）人: 盧繼奎;胡延兵
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: B67D7/02
• 分類號: B67D7/02;B67D7/78;B67D7/30;B67D7/76
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 何麗英

技術領域

本發明屬于晶片涂膠顯影工藝技術領域，具體地說是一種液體定量供給裝置。在半導體晶片上或它的涂層上形成保護膜以及晶片曝光后的顯影工藝中提供定量藥液。

背景技術

目前，在半導體晶片上或它的涂層上形成保護膜以及晶片曝光后的顯影工藝中，公知的液體供給裝置主要是采用泵供給或者是壓縮氣體從密封桶內壓出的方式。利用壓縮氣體從密封桶內壓出的液體中會溶解一部分氣體，在進行工藝時會產生氣泡，影響工藝效果。另外采用這種方式難以控制每次供給的液體流量，在工藝中會因此造成液體浪費。

發明內容

針對上述問題，本發明的目的在于提供一種液體定量供給裝置。該裝置利用液體自重產生的壓力進行供給，與控制系統連接可實現自動補液和定量供給，并且在液體供給時可對液體進行除氣泡工作。

為了實現上述目的，本發明采用以下技術方案：

一種液體定量供給裝置，包括補液桶、供液罐、噴嘴連接管、氣源及控制系統，其中補液桶通過氣體管路和補液管路分別與氣源和供液罐連接，所述補液管路上設有補液藥液閥，所述噴嘴連接管位于供液罐的下方、并通過供液管路與供液罐連接，所述供液管路上設有供液藥液閥，所述補液藥液閥和供液藥液閥均與控制系統連接，所述控制系統通過補液藥液閥和供液藥液閥使供液罐內液面的工作位與噴嘴連接管之間的距離保持恒定，實現在恒定壓力下液體的定量供給。

所述氣體管路上設有用于控制補液桶內氣體壓力的氣體壓力調節裝置。所述補液桶內設有用于檢測補液桶內液面的最高位和最低位的補液桶液位傳感器，所述補液桶液位傳感器與控制系統連接；當補液桶內的液面低于最低位或高于最高位時，所述補液桶液位傳感器向控制系統發出信號，所述液體定量供給裝置停止工作。所述氣體管路與補液桶連接的一端設有用于手動控制帶壓力的氣體進入補液桶或將補液桶中的氣體排出的三通手閥。

所述供液罐內設有與控制系統連接的供液罐液位傳感器，所述供液罐液位傳感器分別檢測供液罐內液面的工作位、上限位及下限位，當供液罐內的液面低于工作位時，所述供液罐液位傳感器向控制系統發出信號，所述補液藥液閥打開，進行補液；當供液罐內的液面達到工作位時，所述補液藥液閥關閉；當供液罐內的液面超過上限位或低于下限位時，控制系統報警，所述液體定量供給裝置停止工作。所述供液罐為封閉罐、并上端設有排氣管路，所述供液罐的底部與供液管路的上端連接。

所述補液管路插入供液罐內的端口低于供液罐內液面的下限位。所述控制系統通過供液藥液閥控制供液管路通與斷的時間，實現液體流量的控制。所述供液管路中的液體流量與供液管路通斷的時間間隔成線性關系。

本發明的優點及有益效果是：

1.本發明供給液體時，利用液體自重產生的壓力進行供給，通過控制藥液閥通斷的時間間隔可以準確控制液體供給的量，該裝置結構簡單，制作成本低。

2.本發明使用的補液桶和供液罐內均有液位傳感器，可以檢測桶內液體的液位，通過控制系統可以實現自動補液功能，減少額外勞動量。

3.本發明中的供液罐頂端帶有排氣的管路，可以將供液罐中液體中溶解的氣體釋放出來并排走，從而不會影響液體在工藝中的使用效果。

附圖說明

圖1是本發明的結構原理示意圖。

其中：1為氣體壓力調節裝置，2為三通手閥，3為補液桶液位傳感器，4為補液藥液閥，5為供液罐液位傳感器，6為供液藥液閥，7為噴嘴連接管，8為排氣管路，9為補液桶，10為供液罐，D為供液罐內液面的工作位與噴嘴連接管之間的距離，H為補液桶內液面的最高位，L為補液桶內液面的最低位，N為供液罐內液面的工作位，H1為供液罐內液面的上限位，H2為供液罐內液面的下限位。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明作進一步詳細描述。

如圖1所示，本發明包括氣體壓力調節裝置1、補液桶9、供液罐10、噴嘴連接管7、氣源及控制系統，其中補液桶9通過氣體管路和補液管路分別與氣源和供液罐10連接，所述補液管路上設有補液藥液閥4，所述噴嘴連接管7位于供液罐10的下方、并通過供液管路與供液罐10連接，所述供液管路上設有供液藥液閥6，所述補液藥液閥4和供液藥液閥6均與控制系統連接。所述氣體管路上設有氣體壓力調節裝置1，進氣壓力可通過氣體壓力調節裝置1進行調節，這樣可以調節從補液桶9壓出液體的壓力。