[發明專利]一種液體定量供給裝置

在審

• 申請號: 201310469511.3
• 申請日: 2013-10-09
• 公開（公告）號: CN104555870A
• 公開（公告）日: 2015-04-29
• 發明（設計）人: 盧繼奎;胡延兵
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: B67D7/02
• 分類號: B67D7/02;B67D7/78;B67D7/30;B67D7/76
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 何麗英

1.一種液體定量供給裝置，其特征在于：包括補液桶(9)、供液罐(10)、噴嘴連接管(7)、氣源及控制系統，其中補液桶(9)通過氣體管路和補液管路分別與氣源和供液罐(10)連接，所述補液管路上設有補液藥液閥(4)，所述噴嘴連接管(7)位于供液罐(10)的下方、并通過供液管路與供液罐(10)連接，所述供液管路上設有供液藥液閥(6)，所述補液藥液閥(4)和供液藥液閥(6)均與控制系統連接，所述控制系統通過補液藥液閥(4)和供液藥液閥(6)使供液罐內液面的工作位與噴嘴連接管之間的距離(D)保持恒定，實現在恒定壓力下液體的定量供給。

2.按權利要求1所述的液體定量供給裝置，其特征在于：所述氣體管路上設有用于控制補液桶(9)內氣體壓力的氣體壓力調節裝置(1)。

3.按權利要求1或2所述的液體定量供給裝置，其特征在于：所述補液桶(9)內設有用于檢測補液桶(9)內液面的最高位(H)和最低位(L)的補液桶液位傳感器，所述補液桶液位傳感器與控制系統連接；當補液桶(9)內的液面低于最低位(L)或高于最高位(H)時，所述補液桶液位傳感器向控制系統發出信號，所述液體定量供給裝置停止工作。

4.按權利要求1或2所述的液體定量供給裝置，其特征在于：所述氣體管路與補液桶(9)連接的一端設有用于手動控制帶壓力的氣體進入補液桶(9)或將補液桶(9)中的氣體排出的三通手閥(2)。

5.按權利要求1所述的液體定量供給裝置，其特征在于：所述供液罐(10)內設有與控制系統連接的供液罐液位傳感器，所述供液罐液位傳感器分別檢測供液罐(10)內液面的工作位(N)、上限位(H1)及下限位(H2)，當供液罐(10)內的液面低于工作位(N)時，所述供液罐液位傳感器向控制系統發出信號，所述補液藥液閥(4)打開，進行補液；當供液罐(10)內的液面達到工作位(N)時，所述補液藥液閥(4)關閉；當供液罐(10)內的液面超過上限位(H1)或低于下限位(H2)時，控制系統報警，所述液體定量供給裝置停止工作。

6.按權利要求1或5所述的液體定量供給裝置，其特征在于：所述供液罐(10)為封閉罐、并上端設有排氣管路(8)，所述供液罐(10)的底部與供液管路的上端連接。

7.按權利要求1所述的液體定量供給裝置，其特征在于：所述補液管路插入供液罐(10)內的端口低于供液罐(10)內液面的下限位(H2)。

8.按權利要求1所述的液體定量供給裝置，其特征在于：所述控制系統通過供液藥液閥(6)控制供液管路通與斷的時間，實現液體流量的控制。

9.按權利要求8所述的液體定量供給裝置，其特征在于：所述供液管路中的液體流量與供液管路通斷的時間間隔成線性關系。