[發明專利]一種掩模板

在審

• 申請號: 201310464805.7
• 申請日: 2013-10-09
• 公開（公告）號: CN103589996A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: 魏志凌;高小平;魏志浩;潘世珎;許鐳芳
• 申請（專利權）人: 昆山允升吉光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C25D1/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

?本發明涉及一種掩模板，具體涉及一種OLED蒸鍍用的掩模板。

背景技術

有機發光二極管(Organic?Light-Emitting?Diode；OLED)顯示器具有自主發光、低電壓直流驅動、全固化、視角寬、顏色豐富等一系列的優點，與液晶顯示器相比，OLED顯示器不需要背光源，視角大，功率低，其響應速度可達到液晶顯示器的1000倍，其制造成本卻低于同等分辨率的液晶顯示器。因此，OLED顯示器具有廣闊的應用前景，逐漸成為未來20年成長最快的新型顯示技術。

OLED結構中的有機層材料的制作需要用到蒸鍍用的掩模板，傳統通過蝕刻工藝制作掩模板，蒸鍍之前需要將掩模板拉網固定到掩模框上，拉網固定之后掩模板具有一定的張力。掩模板蒸鍍孔的截面示意圖如圖1所示，1為掩模板的ITO面（即與基板接觸的一面），2為掩模板的蒸鍍面（即面向蒸鍍源的一面），11為掩模板的蒸鍍孔，蒸鍍孔11的截面為葫蘆狀，由于蒸鍍孔11的邊緣比較薄，掩模板具有一定的張力之后蒸鍍孔的邊緣容易翹起，如圖1中的翹起部分12所示，蒸鍍孔邊緣翹起的部分12在蒸鍍過程中會劃傷沉積基板，從而影響顯示器的質量，而且通過蝕刻工藝制作的掩模板蒸鍍孔的尺寸不好控制，尤其在制作小尺寸的蒸鍍孔時很難將蒸鍍孔的尺寸做到更小。

本發明主要是針對以上問題提出一種掩模板，較好的解決以上所述問題。

發明內容

有鑒于此，本發明的主要目的在于提供一種掩模板，使在蒸鍍過程中盡量減少蒸鍍孔壁對蒸鍍材料的遮擋，并且可以防止掩模板蒸鍍孔邊緣翹起劃傷沉積基板。

本發明提供一種掩模板，包括掩模板本體及形成在所述掩模板本體上的蒸鍍孔，所述蒸鍍孔貫穿所述掩模板本體，所述掩模板包括蒸鍍面和ITO面，其特征在于：所述蒸鍍孔在所述ITO面設有凹槽區域，在所述蒸鍍孔的中心軸線所在的截面上，所述蒸鍍面的蒸鍍孔的邊緣線呈外擴式喇叭狀。

進一步地，蒸鍍面的蒸鍍孔的孔壁與掩模板本體的板面呈30～60°夾角。

進一步地，蒸鍍孔以陣列的方式設置在掩模板上，蒸鍍孔與沉積基板的有機膜沉積區域相適應。

進一步地，掩模板的厚度為8～80μm。

優選地，掩模板的厚度為25～50μm。

進一步優選地，掩模板的厚度為30μm。

進一步地，凹槽區域的深度為3～30μm。

優選地，凹槽區域的深度為5～20μm。

進一步地，掩模板的材質為鎳基合金。

進一步地，掩模板通過電鑄方式制備。

本發明還提供了一種掩模組件，包括掩模框和上述所述的掩模板，其特征在于，所述掩模板固定于所述掩模框上。

進一步地，掩模板通過激光焊接或粘接方式固定于掩模框上。

本發明的有益效果在于，在蒸鍍孔的中心軸線所在的截面上，蒸鍍面的蒸鍍孔的邊緣線呈外擴式喇叭狀，蒸鍍面的蒸鍍孔的孔壁與掩模板本體的板面呈30～60°夾角，可以減小蒸鍍孔的孔壁對蒸鍍材料的遮擋，同時蒸鍍孔ITO面的凹槽區域可以起到防止刮傷沉積基板，從而提高顯示器的質量。

本發明附加的方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發明的實踐了解到。

附圖說明

本發明的上述和/或附加的方面和優點從下面結合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1所示為傳統蝕刻制作掩模板蒸鍍孔的截面示意圖；

圖2所示為掩模板ITOA面的平面結構示意圖；

圖3所示為圖2中沿A-A方向的截面示意圖；

圖4所示為圖3中30部分放大示意圖；

圖5所示為掩模板整體平面結構示意圖；

圖6和圖7所示為圖5中50部分放大示意圖；

圖8所示為掩模組件平面結構示意圖；

圖9所示為蒸鍍截面示意圖；

圖10所示為芯模貼膜后的截面示意圖；

圖11所示為曝光截面示意圖；

圖12所示為顯影后的截面示意圖；

圖13所示為電鑄后的截面示意圖；

圖14所示為將電鑄的電鑄層剝離后的截面示意圖；

圖15所示為圖14中140部分的放大示意圖。

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圖1中，1為ITO面，2為蒸鍍面，11為掩模板的蒸鍍孔，12為蒸鍍孔邊緣翹起部分；

圖2中，20為掩模板本體，21為蒸鍍孔，22為掩模板，A-A為待解剖觀測方向；

圖3中，3為ITO面，4為蒸鍍面，30為待放大觀測部分；