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[發(fā)明專利]一種在芯片失效分析過程中去除層次的方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201310460450.4 申請日: 2013-09-30
公開(公告)號: CN103499476A 公開(公告)日: 2014-01-08
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 陳強(qiáng) 申請(專利權(quán))人: 上海華力微電子有限公司
主分類號: G01N1/28 分類號: G01N1/28
代理公司: 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275 代理人: 吳世華;林彥之
地址: 201210 上海市浦*** 國省代碼: 上海;31
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 芯片 失效 分析 過程 去除 層次 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種在集成電路芯片失效分析過程中去除層次的方法,用于暴露具有多層結(jié)構(gòu)的集成電路芯片的至少一預(yù)設(shè)目標(biāo)層,其中,所述的目標(biāo)層中包含需檢測的目標(biāo)樣品,其特征在于,包括如下步驟:

步驟S1:采用截面研磨的方式,選取所述集成電路芯片的一個(gè)截面作為被研磨截面,將所述被研磨截面研磨至最終停止截面;其中,所述最終停止截面距目標(biāo)樣品的距離為微米級;

步驟S2:將被研磨出截面的所述集成電路芯片樣品,放入聚焦離子束裝置的工藝腔中,并將研磨出的截面與聚焦離子束發(fā)射方向相對設(shè)置,以使所述預(yù)設(shè)的目標(biāo)層與所述聚焦離子束發(fā)射方向相平行;

步驟S3:使用聚焦離子束,從集成電路芯片的表面層開始去除所述預(yù)設(shè)目標(biāo)層之上的一層或多層。

2.如權(quán)利要求1所述的去除層次的方法,其特征在于,所述預(yù)設(shè)目標(biāo)層為一層;所述步驟3后還包括:選擇停留在所述預(yù)設(shè)目標(biāo)層表面步驟。

3.如權(quán)利要求2所述的去除層次的方法,其特征在于,所述步驟3是是通過檢測聚焦離子束中的電子束來實(shí)現(xiàn)選擇停留在所述預(yù)設(shè)目標(biāo)層表面。

4.如權(quán)利要求1所述的去除層次的方法,其特征在于,所述步驟3是是通過檢測聚焦離子束中的電子束來實(shí)現(xiàn)去除所述預(yù)設(shè)目標(biāo)層之上的一層或多層的定位的。

5.如權(quán)利要求1所述的去除層次的方法,其特征在于,所述集成電路芯片的截面為四個(gè),所述集成電路芯片的被研磨截面選自所述目標(biāo)樣品距所述四個(gè)起始截面中最近的一個(gè)截面進(jìn)行。

6.如權(quán)利要求5所述的去除層次的方法,其特征在于,在采用截面研磨的方式對截面研磨時(shí),所述最終停止截面垂直于所述集成電路芯片的多層結(jié)構(gòu)中的層。

7.如權(quán)利要求1所述的去除層次的方法,其特征在于,在研磨結(jié)束后,所述被截面研磨面最終停止的截面距目標(biāo)樣品的距離為1~4微米。

8.如權(quán)利要求7所述的去除層次的方法,其特征在于,所述被截面研磨面最終停止的截面距目標(biāo)樣品的距離為1.5微米。

9.如權(quán)利要求1所述的去除層次的方法,其特征在于,所述截面研磨的方式為化學(xué)機(jī)械研磨、蝕刻法或離子研磨法。

10.如權(quán)利要求1所述的去除層次的方法,其特征在于,所述預(yù)設(shè)目標(biāo)層為柵極氧化層、CT層或金屬層。

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1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

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