[發明專利]半導體元件測試用分選機

有效

• 申請號: 201310455809.9
• 申請日: 2013-09-24
• 公開（公告）號: CN103706576A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 羅閏成;李鎮福;金是勇
• 申請（專利權）人: 泰克元有限公司
• 主分類號: B07C5/344
• 分類號: B07C5/344
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 韓明星;張川緒

技術領域

本發明涉及一種測試半導體元件時使用的半導體元件測試用分選機。

背景技術

半導體元件測試用分選機（以下稱為分選機）是一種將通過預定制造工序制造的半導體元件電連接于測試機之后根據測試結果對半導體元件進行分類的裝置。

用于支持半導體元件測試的分選機已公開于韓國公開專利10-2002-0053406號、韓國授權專利10-0866364等多篇專利文獻中。

通常，由于半導體元件的使用環境（例如溫度環境）可能多種多樣，因此有必要使分選機除了支持常溫測試以外還支持高溫或低溫測試。為此，分選機根據其種類需要具備在一定程度上能夠將待測半導體元件與外界環境進行阻斷的室（Chamber）。

另外，由于半導體元件的使用范圍廣泛而種類繁多，且由于集成技術的發展而使得其大小等規格可變，因此當待測試的半導體元件被替換時需要替換構成于分選機中的其他部件。

然而，對于收容于室內部的收容空間中的部件而言，由于要打開室門而將工具放入其中進行作業，故與其他部件之間存在干擾，因此替換作業非常繁瑣而苛刻。并且，這一點最終將會導致人力損失、替換時間增加、分選機的運行率下降等。

發明內容

本發明的目的在于提供一種使位于測試室的收容空間內的部件能夠在維持結合于在主體側構成測試室的壁面的狀態的條件下引出到測試室的收容空間外部的技術。

為了達到如上所述的目的，根據本發明的半導體元件測試用分選機包括：測試室，具有收容半導體元件的收容空間；往復裝置，將裝載（loading）的半導體元件搬入所述測試室的收容空間或者從所述測試室的收容空間搬出；移動裝置，將裝載于所述往復裝置的半導體元件移動至測試機的測試插座，或者將測試完畢的半導體元件從測試機的測試插座移動至所述往復裝置；裝載部，將半導體元件裝載于所述往復裝置；卸載部，將半導體元件從所述往復裝置卸載，其中，所述測試室的特定壁能夠滑動。

所述移動裝置設置于所述特定壁上。

所述移動裝置包括：拾取器，具有用于拾取位于所述測試室內部的半導體元件的拾取端；驅動源，用于驅動所述拾取器，其中，所述特定壁的移動是在使所述拾取端從所述收容空間脫離或者使從所述收容空間脫離的所述拾取端移動至所述收容空間的范圍內進行，而且，所述拾取器包括至少具有一個用于拾取半導體元件的拾取單元且該拾取單元被可拆卸地結合的拾取塊。

位于所述特定壁的移動路徑上的一側壁固定于所述特定壁而與所述特定壁一起移動。

還可以包括用于夾持所述特定壁的夾持裝置。

所述夾持裝置包括：防脫部件，用于防止所述特定壁的脫離；氣缸，使所述防脫部件進退移動，從而防止所述特定壁脫離或者解除防脫；彈性部件，朝所述特定壁方向彈性支撐所述防脫部件。

所述防脫部件上形成有用于插入專門工具的工具插孔。

還可以包括用于緩沖所述特定壁的移動沖擊的緩沖件。

還可以包括用于確認所述特定壁的位置的位置確認裝置。

根據本發明，由于位于測試室的收容空間內的部件（拾取端等）能夠伴隨特定壁的滑動而被引導到測試室的外部，因此對應部件的替換作業變得容易，歸根到底具有能夠節省替換時間和人力并提高分選機運行率的效果。

附圖說明

圖1為根據本發明的分選機的概略性平面結構圖。

圖2為圖1所示分選機主要部分的概略性立體圖。

圖3為用于說明圖1所示分選機中半導體元件的移動的參考圖。

圖4和圖5為用于說明圖1所示分選機的主要部分的參考圖。

圖6a至圖6d為用于說明根據本發明的分選機中的部件替換作業的參考圖。

符號說明：

100：半導體元件測試用分選機??110：測試室

111：上側壁??????????????????114：后側壁

120：往復裝置????????????????130：移動裝置

131A、131B：拾取器??131A-1、131B-1：拾取端

PB：拾取塊??????????131A-2、131B-2：連接架

132A、132B：升降驅動源???????133：前后移動動力源

140：裝載部??????????????????150：卸載部

160L、160R：夾持裝置?????????161：防脫部件

161a：工具插孔???????????????162：氣缸