[發(fā)明專利]抗蝕膜剝離劑

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310453055.3
• 申請日: 2013-09-27
• 公開（公告）號(hào): CN103543618A
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊桂望
• 申請（專利權(quán)）人: 楊桂望
• 主分類號(hào): G03F7/42
• 分類號(hào): G03F7/42;C07D235/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種新型的抗蝕膜剝離劑，其特征在于：包括N-乙基氨基甲酸乙酯、乙二醇單丁醚、沒食子酸、有機(jī)溶劑和防腐蝕劑。?

2.如權(quán)利要求1所述的抗蝕膜剝離劑，其特征在于：所述有機(jī)溶劑為N-甲基吡咯烷酮、1，3-二甲基-2-咪唑烷酮、二甲基亞砜、二甲基乙酰胺、二甲基甲酰胺、N-甲基甲酰胺、環(huán)丁砜、丁基二乙二醇、乙基二乙二醇、甲基二乙二醇、三乙二醇、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、及其混合物。?

3.如權(quán)利要求1或2所述的抗蝕膜剝離劑，其特征在于：所述抗蝕膜剝離劑中各組分的重量份分別為N-乙基氨基甲酸乙酯20重量份～30重量份、乙二醇單丁醚5重量份～10重量份、沒食子酸3～5重量份、有機(jī)溶劑60～70重量份和防腐蝕劑5～10重量份。?

4.如權(quán)利要求1至3所述的抗蝕膜剝離劑，其特征在于：所述防腐蝕劑由氯化1-羥乙基-3-十六烷基咪唑和式1所示的ω，ω′-雙(苯并咪唑-2-基)烷烴構(gòu)成，其中，n=8，兩者的質(zhì)量為1：1～1：2。?

。

5.如權(quán)利要求1至4所述的抗蝕膜剝離劑，其特征在于：所述氯化1-羥乙基-3-十六烷基咪唑的制備方法具體為：?

第一步，1-十六烷基咪唑的制備，將1.79的咪唑和3.8mL的溴代十六烷在35mL的乙酸乙酯中混合，磁力攪拌10分鐘混合均勻。將混合物倒入容量為60mL的聚四氟乙烯內(nèi)襯中，將聚四氟乙烯內(nèi)襯密封入不銹鋼反應(yīng)釜內(nèi)，并放入數(shù)字式烘箱內(nèi)，從室溫加熱至120℃恒溫反應(yīng)16h后自然冷卻至室溫。然后將混合物過濾取出濾液，用蒸餾水洗滌數(shù)次以除去沒有參加反應(yīng)的咪唑，用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀將溶劑乙酸乙酯蒸出，所得產(chǎn)物1-十六烷基咪唑在70℃真空干燥箱中干燥12小時(shí)至恒重。得到淡黃色液體，稱量產(chǎn)物；?

第二步，將2.9g的1-十六烷基咪唑和1ml的2-氯乙醇在35ml的乙酸乙酯中混合，磁力攪拌10分鐘混合均勻，其中，反應(yīng)物2-氯乙醇過量，使1-十六烷基咪唑充分反應(yīng)，將混合物倒入容量為60mL的聚四氟乙烯內(nèi)襯中，將聚四氟乙烯內(nèi)襯密封入不銹鋼反應(yīng)釜內(nèi)，并放入數(shù)字式烘箱內(nèi)，從室溫加?熱至120℃，恒溫反應(yīng)6h，自然冷卻至室溫。用旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀將溶劑和過量的反應(yīng)物2-氯乙醇蒸出，所得產(chǎn)物在70℃真空干燥箱中干燥12小時(shí)至恒重，得到的氯化1-羥乙基-3-十六烷基咪唑?yàn)榘咨腆w。?

6.如權(quán)利要求1至5所述的抗蝕膜剝離劑，其特征在于：所述ω，ω′-雙(苯并咪唑-2-基)烷烴的制備方法具體為：?

分別稱取0.11mol鄰苯二胺和0.05mol脂肪二酸，于研缽中充分研磨使其混合均勻，轉(zhuǎn)移至三頸燒瓶中。加入混酸，通氮，機(jī)械攪拌下加熱回流反應(yīng)。TLC跟蹤監(jiān)測至反應(yīng)結(jié)束，約10h，倒入250mL燒杯中，靜置冷卻，用濃氨水調(diào)節(jié)pH=7。于4℃下靜置過夜，抽濾干燥，所得粗品用甲醇／水重結(jié)晶，得純品。?