[發明專利]自動搬送系統無效
| 申請號： | 201310447606.5 | 申請日： | 2013-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN103466324A | 公開（公告）日： | 2013-12-25 |
| 發明（設計）人： | 唐國強;計軍 | 申請（專利權）人： | 上海集成電路研發中心有限公司 |
| 主分類號： | B65G49/07 | 分類號： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吳世華;林彥之 |
| 地址： | 201210 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 自動 系統 | ||
1.一種自動搬送系統，其特征在于，其包括：
多個設備，呈矩陣狀布設，每個設備都具有堆放硅片盒的堆疊部以及將硅片盒在堆疊部和該堆疊部所在設備走道之間往來運輸的存取機構；
軌道結構，其具有多條相互連通的軌道并懸垂固定于系統空間的頂部，每個設備堆疊部所在的設備走道有且僅有一條軌道布設；
至少一輛輸送車，懸掛于于軌道結構上并可沿著軌道行進；以及
控制單元，與該設備和輸送車信號連接。
2.根據權利要求1所述的自動搬送系統，其特征在于：該設備矩陣中，每列縱向設備堆疊部的朝向一致。
3.根據權利要求2所述的自動搬送系統，其特征在于：相鄰縱向兩列設備堆疊部的朝向相反。
4.根據權利要求3所述的自動搬送系統，其特征在于：該軌道設置于有兩列相鄰設備的堆疊部一同所在的設備走道間。
5.根據權利要求4所述的自動搬送系統，其特征在于：該設備矩陣的外周也布設一圈軌道。
6.根據權利要求1至5任一項所述的自動搬送系統，其特征在于：該存取機構包括固定在設備上的縱向滑軌、與縱向滑軌相連的伸出臂以及設于伸出臂上并可前后伸縮的硅片盒承載件。
7.根據權利要求6所述的自動搬送系統，其特征在于：該硅片盒承載件通過伸出臂上的滑軌進行前后伸縮或該硅片盒承載件固定于可前后伸縮的伸出臂上。
8.根據權利要求7所述的自動搬送系統，其特征在于：該硅片盒承載件為托板、夾板、叉手或抓手。
9.根據權利要求8所述的自動搬送系統，其特征在于：該存取機構的硅片盒承載件可伸至軌道正下方位置。
10.根據權利要求6所述的自動搬送系統，其特征在于：每個設備具有一個或多個堆疊部，每個設備或每個堆疊部均設有一個存取機構。
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