[發(fā)明專利]自動搬送系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310447606.5
• 申請日: 2013-09-26
• 公開（公告）號: CN103466324A
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 唐國強;計軍
• 申請（專利權(quán)）人: 上海集成電路研發(fā)中心有限公司
• 主分類號: B65G49/07
• 分類號: B65G49/07
• 代理公司: 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路物料輸送設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片盒自動搬送系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，300mm硅片已經(jīng)逐步取代200mm硅片成為主流，每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不僅會降低效率，還存在搬運人員人身傷害的可能。同時，半導(dǎo)體制造對于廠房的利用率以及生產(chǎn)周期的要求越來越嚴苛，自動化物料傳輸系統(tǒng)（Automated?Material?Handling?Systems，簡稱AMHS）作為連接各個制造模塊之間輸送硅片的紐帶的重要性也日益凸顯出來。

由于硅片從200mm到300mm的轉(zhuǎn)變，工廠所采用的Semi?Auto搬送方式已改革成了Full?Auto搬送方式，也就是從AMHS負責(zé)走道間系統(tǒng)（interbay）、人工搬送負責(zé)走道內(nèi)系統(tǒng)（intrabay），進化為走道間系統(tǒng)和走道內(nèi)系統(tǒng)均由AMHS實現(xiàn)。這種方式極大減輕了生產(chǎn)一線操作人員的工作強度，同時又避免了因人為事故而造成的損失。

現(xiàn)有技術(shù)中，用于300mm硅片制造的一種主流AMHS包括多個用于存放半導(dǎo)體硅片的硅片存儲設(shè)備（STOCKER）和一個或多個空中升降機輸送車（OHT），用于在硅片制造區(qū)域的各工位之間傳送硅片。存放在STOCKER中的硅片被裝入盒式容器，例如前端開口片盒（Front?Opening?Unified?Pod，簡稱FOUP），隨后它們被傳遞到在懸垂軌道上行進的OHT。舉例來說，要將Tool?A的硅片盒搬送到Tool?B，現(xiàn)有一般的搬送路徑為Tool?A→Stoker01→Stocker02→Tool?B。

為了進一步提升系統(tǒng)的自動化，現(xiàn)有技術(shù)又提供了一種Tool?To?Tool的搬送模式，也就是直接Tool?A→Tool?B。美國專利US7356378B1公開了一種工廠自動化系統(tǒng)，其實施例和附圖揭示了系統(tǒng)中軌道的布局以及OHT小車運行方式，可見，兩個設(shè)備112之間可以有幾種直接運輸硅片盒的方式，也包括通過倉儲120作為中間環(huán)節(jié)。

然而，如上述專利所記載的現(xiàn)有搬送系統(tǒng)雖然可以實現(xiàn)兩個設(shè)備之間硅片盒的直接輸送，但是需要架設(shè)復(fù)雜的軌道結(jié)構(gòu)，尤其是在每個設(shè)備處至少要架設(shè)一條軌道，導(dǎo)致軌道結(jié)構(gòu)繁雜、天花板負荷增加、影響安全性；另一方面，眾多軌道也給OHT小車選擇最佳路徑制造了麻煩，小車可能要繞好幾個彎才能到達目標設(shè)備，控制系統(tǒng)也要運算多種路徑可能，一定程度上影響了搬送效率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于彌補上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種新的自動搬送系統(tǒng)。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種自動搬送系統(tǒng)，其包括：

多個設(shè)備，呈矩陣狀布設(shè)，每個設(shè)備都具有堆放硅片盒的堆疊部以及將硅片盒在堆疊部和該堆疊部所在設(shè)備走道之間往來運輸?shù)拇嫒C構(gòu)；

軌道結(jié)構(gòu)，其具有多條相互連通的軌道并懸垂固定于系統(tǒng)空間的頂部，每個設(shè)備堆疊部所在的設(shè)備走道有且僅有一條軌道布設(shè)；

至少一輛輸送車，懸掛于于軌道結(jié)構(gòu)上并可沿著軌道行進；以及

控制單元，與該設(shè)備和輸送車信號連接。

進一步地，該設(shè)備矩陣中，每列縱向設(shè)備堆疊部的朝向一致。

進一步地，相鄰縱向兩列設(shè)備堆疊部的朝向相反。

進一步地，該軌道設(shè)置于有兩列相鄰設(shè)備的堆疊部一同所在的設(shè)備走道間。

進一步地，該設(shè)備矩陣的外周也布設(shè)一圈軌道。

進一步地，該存取機構(gòu)包括固定在設(shè)備上的縱向滑軌、與縱向滑軌相連的伸出臂以及設(shè)于伸出臂上并可前后伸縮的硅片盒承載件。

進一步地，該硅片盒承載件通過伸出臂上的滑軌進行前后伸縮或該硅片盒承載件固定于可前后伸縮的伸出臂上。

進一步地，該硅片盒承載件為托板、夾板、叉手或抓手。

進一步地，每個設(shè)備具有一個或多個堆疊部，每個設(shè)備或每個堆疊部均設(shè)有一個存取機構(gòu)。

進一步地，該存取機構(gòu)的硅片盒承載件可伸至軌道正下方位置。