[發明專利]AMHS暫存區系統

無效

• 申請號: 201310447589.5
• 申請日: 2013-09-26
• 公開（公告）號: CN103612917A
• 公開（公告）日: 2014-03-05
• 發明（設計）人: 錢剛
• 申請（專利權）人: 上海集成電路研發中心有限公司
• 主分類號: B65G61/00
• 分類號: B65G61/00;B65G35/00;B65G49/07
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

技術領域

本發明涉及半導體集成電路物料輸送設備技術領域，尤其涉及一種自動化物料傳輸系統的暫存區系統。

背景技術

隨著半導體技術的發展，300mm硅片已經逐步取代200mm硅片成為主流，每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不僅會降低效率，還存在搬運人員人身傷害的可能。同時，半導體制造對于廠房的利用率以及生產周期的要求越來越嚴苛，自動化物料傳輸系統（Automated?Material?Handling?Systems，簡稱AMHS）作為連接各個制造模塊之間輸送硅片的紐帶的重要性也日益凸顯出來。

現有的AMHS系統均采用懸掛于天花板上的多條軌道結構與軌道上行駛的OHT輸送車，往返于各個機臺之間（tool?to?tool輸送模式），或往返于機臺與暫存區Stocker之間（走道間系統interbay與走道內系統intrabay）。如圖1所示的采用走道間、走道內的輸送系統，機臺走道每一邊的每一臺機臺10安裝有硅片盒堆疊部20（load?port），OHT輸送車70（overhead?hoist?transport）能抓起堆疊部20上的硅片盒30，并通過軌道結構60傳送至另一臺機臺10的堆疊部20上。這種硅片盒30在同一走道內的輸送過程稱為走道內系統110，而硅片盒30在不同走道之間的輸送過程則稱為走道間系統100。走道內系統110的輸送使用OHT輸送車70，走道間系統100的輸送則是先將硅片盒30以輸送車70移至暫存區50中暫時儲存，等到需要用到此硅片盒30時，再同樣以輸送車70搬送到指定機臺10處。

可見，現有技術中暫存區內暫存的硅片盒都是靠OHT輸送車存取，比如輸送車A將硅片盒拾取后暫存于暫存區的P位置，位于遠離P位置的Q位置走道的機臺需要使用該硅片盒，那么輸送車B就需要至少行駛P→Q的距離（假定輸送車B已在P位置），再加上路徑中可能有的其他輸送車，輸送車B需要耗費很多時間來拾取該硅片盒。

因此，如何在暫存區內實現各個位置硅片盒的移動，來節省輸送車存取行駛過程中的時間，提高AMHS系統整體的效率，是技術人員需要解決的技術問題之一。

發明內容

本發明的目的在于彌補上述現有技術的不足，提供一種新的AMHS暫存區系統。

為實現上述目的，本發明提供一種AMHS暫存區系統，其包括：

至少一個暫存設備，布設于AMHS系統機臺矩陣中間的暫存區；

至少一個暫存區硅片盒存取機構，其包括設置于暫存區的安裝部、抓取硅片盒的抓手以及連接安裝部和抓手的可伸展機械臂，用以將暫存區某一暫存設備上的硅片盒移動到暫存區的另一暫存設備。

進一步地，該存取機構為兩個以上，且每個存取機構的抓取范圍與其他至少一個存取機構的抓取范圍中至少包含一個相同的暫存設備。

進一步地，所有該存取機構的總抓取范圍包含所有暫存設備。

進一步地，該安裝部設置于該暫存區的地面、頂面或暫存設備上。

進一步地，該安裝部固定在該暫存區的地面、頂面或暫存設備上。

進一步地，該暫存區的地面或頂面具有導軌，該安裝部可滑動地設置在該導軌上。

本發明采用以上技術方案，提供一種新的AMHS暫存區系統，其在暫存區設置一個或數個存取機構，并通過抓手將暫存設備上的硅片盒移動到離目標輸送車或目標機臺更近的暫存設備，實現各個位置硅片盒的移動，節省輸送車存取行駛過程中的時間，從而提高了AMHS系統整體的效率。同時，本發明結構簡單，適于工業化。

附圖說明

為能更清楚理解本發明的目的、特點和優點，以下將結合附圖對本發明的較佳實施例進行詳細描述，其中：

圖1是現有AMHS系統的結構示意圖；

圖2是本發明第一實施例的AMHS暫存區系統平面示意圖；

圖3是本發明第二實施例中AMHS暫存區系統的存取機構結構示意圖。

具體實施方式

第一實施例

請參閱圖1，本實施例的AMHS暫存區系統包括：

十八個暫存設備，布設于AMHS系統機臺矩陣中間的暫存區1，具體包括第一暫存區11的四個A暫存設備21、第二暫存區12的兩個AB暫存設備212、第三暫存區13的兩個B暫存設備22、第四暫存區14的兩個BC暫存設備223、第五暫存區15的兩個C暫存設備23、第六暫存區16的兩個CD暫存設備234以及第七暫存區17的四個D暫存設備24；