[發(fā)明專利]AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310447589.5 | 申請(qǐng)日： | 2013-09-26 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN103612917A | 公開(kāi)（公告）日： | 2014-03-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 錢(qián)剛 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海集成電路研發(fā)中心有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B65G61/00 | 分類號(hào)： | B65G61/00;B65G35/00;B65G49/07 |
| 代理公司： | 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吳世華;林彥之 |
| 地址： | 201210 上*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | amhs 暫存 系統(tǒng) | ||
1.一種AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于，其包括：
至少一個(gè)暫存設(shè)備，布設(shè)于AMHS系統(tǒng)機(jī)臺(tái)矩陣中間的暫存區(qū)；
至少一個(gè)暫存區(qū)硅片盒存取機(jī)構(gòu)，其包括設(shè)置于暫存區(qū)的安裝部、抓取硅片盒的抓手以及連接安裝部和抓手的可伸展機(jī)械臂，用以將暫存區(qū)某一暫存設(shè)備上的硅片盒移動(dòng)到暫存區(qū)的另一暫存設(shè)備。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于：該存取機(jī)構(gòu)為兩個(gè)以上，且每個(gè)存取機(jī)構(gòu)的抓取范圍與其他至少一個(gè)存取機(jī)構(gòu)的抓取范圍中至少包含一個(gè)相同的暫存設(shè)備。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于：所有該存取機(jī)構(gòu)的總抓取范圍包含所有暫存設(shè)備。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于：該安裝部設(shè)置于該暫存區(qū)的地面、頂面或暫存設(shè)備上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于：該安裝部固定在該暫存區(qū)的地面、頂面或暫存設(shè)備上。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的AMHS暫存區(qū)系統(tǒng)，其特征在于：該暫存區(qū)的地面或頂面具有導(dǎo)軌，該安裝部可滑動(dòng)地設(shè)置在該導(dǎo)軌上。
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