[發明專利]刻蝕劑組合物、金屬圖案的形成方法和陣列基板的制法

在審

• 申請號: 201310446528.7
• 申請日: 2013-09-26
• 公開（公告）號: CN103911616A
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發明（設計）人: 張尚勛;沈慶輔
• 申請（專利權）人: 東友FINE-CHEM股份有限公司
• 主分類號: C23F1/30
• 分類號: C23F1/30;H01L21/77;H01L21/28;H01L23/50
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270
• 代理人: 武晨燕;胡春光

相關申請的交叉引用

本申請要求2012年12月31日遞交的韓國專利申請10-2012-0158364的權益，從而通過全文引用將其并入本申請中。

技術領域

本發明涉及一種用于銀（Ag）或銀合金的單層膜或由所述單層膜和銦氧化物膜組成的多層膜的刻蝕劑組合物、一種使用該刻蝕劑組合物形成金屬圖案的方法以及一種使用該刻蝕劑組合物制造用于有機發光二極管（OLED）的陣列基板的方法。

背景技術

有機發光二極管包括兩個相對的電極以及具有半導體性質且布置在兩個相對的電極之間的有機多層薄膜。這種有機發光二極管利用有機材料將電能轉化成光能的有機發光現象。具體地，這種有機發光二極管是利用下述現象的自發光顯示器：在該現象中通過負極和正極而注入至有機材料（單分子/低分子或聚合物）薄膜的電子和空穴再結合以形成激子，具有特定波長的光作為能量從激子中發出。

在平板顯示器中，作為自發光器件的有機發光顯示器（下文，稱為“OLED”），由于其不需要在作為不發光顯示器的液晶顯示器（LCD）中使用的背光單元，所以能夠被制造的輕且薄。OLED的優勢在于：與LCD相比，具有卓越的視角和對比度，就能耗方面也具有優勢，其能夠通過直流低電壓來驅動，具有快速的響應速度，由于其內部構造是固體所以抵抗外部沖擊，并且其能夠在廣泛的溫度范圍內使用。

同時，隨著有機發光顯示器（OLED）顯示面積的增加，與薄膜晶體管（TFT）連接的柵線和數據線變長，從而增加了布線電阻。為此，當在柵線和數據線中使用鉻（Cr）、鉬（Mo）、鋁（Al）或它們的合金時，難以增加平板顯示器的尺寸且難以實現平板顯示器的高分辨率。因此，為了解決電阻增加而帶來的信號延遲問題，需要用具有低電阻率的材料來制造柵線和數據線。

為了該目的，通過將銀（Ag）膜、銀合金膜或包括銀膜和銀合金膜的多層膜（這些膜具有低于其它金屬膜的電阻率（電阻率：約1.59μ?·cm）以及高于其它金屬膜的亮度）應用于彩色過濾器的電極、LCD的布線以及反射板，已經進行了增加平板顯示器的尺寸、實現平板顯示器的高分辨率以及降低能耗的努力。作為上述努力的一部分，已經開發了適合在這些材料中使用的刻蝕劑。

然而，由于銀對下基板的附著力非常小，不能容易地將銀（Ag）沉積在下基板上，例如由玻璃制成的絕緣基板，或由純無定形硅或摻雜的無定形硅制成的半導體基板。此外，銀（Ag）布線容易翹起（lifted）或剝皮。而且，甚至在銀（Ag）導電層被沉積在基板上的情況下，當在使銀導電層圖案化過程中使用常規刻蝕劑時，銀（Ag）導電層被過度或不均勻地刻蝕，因此引起布線翹起或剝皮現象，并且使布線橫向輪廓差。因此，進行了對用于解決上述問題的新型刻蝕劑的研究。

例如，韓國專利10-0579421公開了一種刻蝕劑組合物，所述刻蝕劑組合物含有硝酸、磷酸、乙酸、輔助氧化物溶劑、含氟碳類表面活性劑和水。然而，該刻蝕劑組合物的問題在于：盡管該組合物刻蝕透明電極/銀/透明電極膜組件的銀，并且防止其透明電極膜腐蝕，但是該組合物中含有的磷酸損壞下部數據線（lower?data?line）。因此，需要開發一種用于解決上述問題的刻蝕劑組合物。

發明內容

因此，作出了本發明以解決上述問題，本發明的目的是提供一種刻蝕劑組合物，它降低銀（Ag）或銀合金的單層膜或由所述單層膜和銦氧化物膜組成的多層膜的側刻蝕速率，表現出均一的刻蝕特性而不損壞下部數據線且不產生殘渣，并且具有改善的長期可儲存性，本發明的又一目的是提供一種使用所述刻蝕劑組合物來形成金屬圖案的方法以及一種使用所述刻蝕劑組合物來制造用于有機發光顯示器（OLED）的陣列基板的方法。

為了實現上述目的，本發明的一個方面提供一種用于銀（Ag）或銀合金的單層膜或由所述單層膜和銦氧化物膜組成的多層膜的刻蝕劑組合物，基于所述刻蝕劑組合物的總重量，所述刻蝕劑組合物包含0.1～0.8wt%的具有羧基的雜環化合物。

所述刻蝕劑組合物還可以包含硝酸、硫酸、過硫酸鹽、磷酸鹽和余量的水。

本發明的另一個方面提供一種形成金屬圖案的方法，所述方法包括以下步驟：（i）在基板上形成選自銀（Ag）或銀合金的單層膜以及由所述單層膜和銦氧化物膜組成的多層膜中的至少一種膜；以及（ii）使用上述刻蝕劑組合物來刻蝕所述至少一種膜。