[發明專利]晶粒雙面篩盤有效

申請號：	201310443910.2	申請日：	2013-09-26
公開（公告）號：	CN103489816A	公開（公告）日：	2014-01-01
發明（設計）人：	黃建山;陳建華;張練佳;梅余峰	申請（專利權）人：	如皋市易達電子有限責任公司
主分類號：	H01L21/67	分類號：	H01L21/67;B07B1/28;B07B1/46
代理公司：	北京匯信合知識產權代理有限公司 11335	代理人：	孫民興;王維新
地址：	226561 江蘇***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	晶粒雙面
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【權利要求書】：

1.一種晶粒雙面篩盤，由篩盤框和篩盤組成，篩盤位于篩盤框上面，其特征在于：晶粒雙面篩盤由正面篩盤和反面篩盤構成，正反篩盤通過轉軸相連接，反面篩盤可通過轉軸旋轉180^o與正面篩盤相復合，正面篩盤和反面篩盤呈軸對稱，篩盤有縱橫整齊排列的篩選孔，篩盤的篩選孔直徑與所篩晶片的N面相同，篩選孔底部有排氣孔，篩盤框為密閉空腔，排氣孔與篩盤框密閉空腔相通。

2.根據權利要求1所述晶粒雙面篩盤，其特征在于：篩盤上篩選孔可設置縱向覆蓋板。

3.根據權利要求1所述晶粒雙面篩盤，其特征在于：所述的篩盤框側面有吸氣孔，吸氣孔與真空泵相連。

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