[發明專利]晶粒雙面篩盤

有效

• 申請號: 201310443910.2
• 申請日: 2013-09-26
• 公開（公告）號: CN103489816A
• 公開（公告）日: 2014-01-01
• 發明（設計）人: 黃建山;陳建華;張練佳;梅余峰
• 申請（專利權）人: 如皋市易達電子有限責任公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B07B1/28;B07B1/46
• 代理公司: 北京匯信合知識產權代理有限公司 11335
• 代理人: 孫民興;王維新

技術領域

????本發明涉及微電子領域的一種半導體元器件的制造工具，具體地說是一種可以將GPP芯片按N端面和P端面交叉排列的晶粒雙面篩盤。

背景技術

在半導體元器件生產制造中，其生產中的半導體晶片分N端面和P端面，常規篩盤無法區分出GPP芯片的N端面和P端面，且無法按工藝要求使篩盤上GPP芯片按N端面和P端面交叉排列，傳統的操作工藝是通過從藍膜上剝離，手工進行排列，操作手續復雜，且無法保證一致性、效率低容易出錯。

發明內容

本發明的目的是克服現有技術的不足，提供一種能有效將GPP芯片的N端面和P端面交叉排列的晶粒雙面篩盤。

本發明是通過以下技術方案實現的：

一種晶粒雙面篩盤，由篩盤框和篩盤組成，篩盤位于篩盤框上面，其特征在于：晶粒雙面篩盤由正面篩盤和反面篩盤構成，正反篩盤通過轉軸相連接，反面篩盤通過轉軸旋轉180^o與正面篩盤相復合，正面篩盤和反面篩盤呈軸對稱，篩盤有縱橫整齊排列的篩選孔，篩盤的篩選孔直徑與所篩晶片的N面相同，篩選孔底部有排氣孔，篩盤框為密閉空腔，排氣孔與篩盤框密閉空腔相通;篩盤上篩選孔可設置縱向覆蓋板可根據工藝需要覆蓋篩選孔;所述的篩盤框側面有吸氣孔，吸氣孔與真空泵相連。

本發明與現有技術相比具有以下有益效果：

1.區分極性成功率高；

2.可交叉極性排列；

3.操作方便，效率高。

附圖說明

圖1為晶粒雙面篩盤結構示意圖；

圖2為GPP晶片所示圖。

圖中：篩盤框1、篩選孔2、吸氣孔3、篩盤4、N面5、P面6、轉軸7和覆蓋板8。

具體實施方式

下面結合附圖和具體應用對本發明的內容做進一步的描述：

如圖所示為晶粒雙面篩盤結構示意圖，包括篩盤框1、篩選孔2、吸氣孔3、篩盤4、N面5、P面6、轉軸7和覆蓋板8。晶粒雙面篩盤由正面篩盤和反面篩盤構成，正反篩盤通過轉軸相連接，反面篩盤可通過轉軸旋轉180^o與正面篩盤相復合，為達到篩盤上晶片的排列為N面和P面交叉排列的目的，在正面篩盤的2、4、6列用覆蓋板8覆蓋，反面篩盤的1、3、5列用覆蓋板8覆蓋，將晶片在篩盤上搖動，使晶片的N面落入篩選孔2內，然后移去正面篩盤的覆蓋板，將反面篩盤沿轉軸旋轉180^o與正面篩盤相復合，釋放反面篩盤吸氣，使反面篩盤2、4、6列的晶片落入正面篩盤的對應篩盤孔內，晶片N面落入篩選孔2內是因GPP芯片P面要比N面要小得多，而且P面溝道刮玻璃粉后，平整度不及N面，人工搖芯片時，比重重的容易在下方，輕的在上方。為高效區分出芯片的極性P面?、N面。通過工程人員對GPP芯片的外觀形狀進行研究，芯片兩邊比重不一，在搖動篩板時，芯片撞擊后，重的一側容易被吸住，GPP芯片兩面的面積有大小之分，P面在吸孔位置容易漏氣，吸不住，吸住的一定是N面。區分極性成功率可達到99%。