[發明專利]一種用于晶圓化學機械平坦化設備中的拋光墊修整器

有效

• 申請號: 201310443621.2
• 申請日: 2013-09-26
• 公開（公告）號: CN103506956A
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發明（設計）人: 柳濱;高文泉;陳威;郭強生
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十五研究所
• 主分類號: B24B53/017
• 分類號: B24B53/017
• 代理公司: 北京中建聯合知識產權代理事務所 11004
• 代理人: 朱麗巖

1.一種用于晶圓化學機械平坦化設備中的拋光墊修整器,其特征在于:該拋光墊修整器是包括機架（101）、底板支撐軸（102）、支撐底板（103）、氣囊（104）、旋轉減速器（105）、法蘭盤式減速器（202）、旋轉伺服電機（106）、擺動伺服電機（201）、球頭萬向結構（107）、擺動臂（108）、光電傳感器（110）和接近傳感器（203）組成；機架（101）與支撐底板（103）通過底板支撐軸（102）連接；氣囊（104）位于支撐底板（103）上；接近傳感器（203）位于支撐底板（103）上，支撐底板（103）上設有杠桿機構，擺動臂（108）的一端與杠桿機構通過螺釘連接，另一端連接球頭萬向結構（107）；旋轉減速器（105）位于擺動臂（108）上方；旋轉伺服電機（106）位于旋轉減速器（105）上方；法蘭盤式減速器（202）位于機架（101）頂部；光電傳感器（110）位于機架（101）上方邊緣；擺動伺服電機（201）位于法蘭盤式減速器（202）下方，同時位于機架（101）內部。

2.如權利要求1所述的拋光墊修整器,其特征在于:?底板支撐軸（102）底部設有一個擋片（109）。

3.如權利要求1所述的拋光墊修整器,其特征在于:?擺動臂（108）上方靠近支撐底板（103）的一端設有主動帶輪（204），球頭萬向結構（107）的上方設有從動帶輪（206），主動帶輪（204）和從動帶輪（206）之間通過同步帶（205）連接，主動帶輪（204）旁邊設有皮帶預緊裝置（208）。

4.如權利要求1所述的拋光墊修整器,其特征在于:?球頭萬向結構（107）的下方設有修整輪（207）。

5.如權利要求1所述的拋光墊修整器,其特征在于:?旋轉減速器（105）下方設有減速器固定架（209）。

6.如權利要求1所述的拋光墊修整器,其特征在于:?杠桿機構和擺動臂（108）的連接處設有杠桿支撐軸（210）。

7.如權利要求1所述的拋光墊修整器,其特征在于:?球頭萬向結構（107）是由球軸承一（301）、球軸承二（302）、密封氈圈（303）、球頭結構（304）和O型圈（305）組成，球頭結構（304）與上方的球軸承二（302）和球軸承一（301）相連，密封氈圈（303）包覆著球軸承二（302），O型圈（305）位于球軸承一（301）和球軸承二（302）的外側。

8.如權利要求1所述的拋光墊修整器,其特征在于:?支撐底板（103）的上方設有后罩（401），擺動臂（108）的上方設有前罩（402）。

9.如權利要求8所述的拋光墊修整器,其特征在于:?后罩（401）和前罩（402）是由不銹鋼材料制成。