[發明專利]基板處理設備

在審

• 申請號: 201310439393.1
• 申請日: 2013-09-24
• 公開（公告）號: CN103915363A
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發明（設計）人: 申東錫
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01J37/32
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 劉燦強;魯恭誠

1.一種基板處理設備，所述基板處理設備包括：

處理室，用于處理基板；

屏蔽件，位于處理室的內壁；以及

連接件，使屏蔽件附著到處理室的內壁，連接件包括分別位于處理室內壁的和屏蔽件的相對表面上的凹槽和突起。

2.如權利要求1所述的基板處理設備，其中，連接件的凹槽包括沿著屏蔽件的表面延伸的楔形榫槽，連接件的突起包括沿著處理室的內壁延伸的與楔形榫槽相對應的楔形榫頭。

3.如權利要求2所述的基板處理設備，其中，楔形榫頭具有相對于處理室的內壁形成小于90度的角的外側壁。

4.如權利要求3所述的基板處理設備，其中，連接件包括被構造為使楔形榫頭結合到處理室的內壁的固定構件。

5.如權利要求2所述的基板處理設備，其中，屏蔽件包括具有第一厚度的突起部分和具有小于第一厚度的第二厚度的凹陷部分，楔形榫槽在屏蔽件的突起部分中。

6.如權利要求5所述的基板處理設備，其中，第一厚度在10mm至6mm的范圍內，第二厚度在6mm至3mm的范圍內。

7.如權利要求1所述的基板處理設備，其中，連接件的凹槽包括沿著處理室的內壁延伸的楔形榫槽，連接件的突起包括沿著屏蔽件延伸的與楔形榫槽相對應的楔形榫頭。

8.如權利要求1所述的基板處理設備，其中，屏蔽件包括位于處理室的上內壁的上屏蔽件和位于處理室的下內壁的下屏蔽件。

9.如權利要求1所述的基板處理設備，其中，屏蔽件包括鋁。

10.如權利要求1所述的基板處理設備，所述基板處理設備還包括被構造成支撐基板的基板臺。

11.如權利要求1所述的基板處理設備，其中，連接件的凹槽從屏蔽件的下表面沿著第一方向延伸，連接件的突起從處理室的底表面突起。

12.如權利要求1所述的基板處理設備，其中，連接件使屏蔽件可拆卸地附著到處理室的內壁。

13.如權利要求1所述的基板處理設備，其中，凹槽和突起可滑動地彼此安裝。