[發(fā)明專利]基板檢查裝置和基板檢查方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310438974.3
• 申請(qǐng)日: 2013-09-24
• 公開（公告）號(hào): CN103713209A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中山孝文;山口修;恩知?jiǎng)?/a>;八田重俊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日本電產(chǎn)理德株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01R31/00
• 分類號(hào): G01R31/00
• 代理公司: 北京弘權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11363
• 代理人: 郭放;許偉群

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及基板檢查裝置和基板檢查方法，尤其涉及檢查例如具有多個(gè)布線圖案或者觸點(diǎn)的基板的電特性的基板檢查裝置和基板檢查方法。

另外，本發(fā)明不限于印刷布線基板，而能夠適用于例如柔性基板、多層布線基板、液晶顯示器或等離子顯示器用的電極板、半導(dǎo)體封裝用封裝基板、膜載體（film?carrier）等各種基板中的電布線的檢查。在本說明書中，將這些各種布線基板統(tǒng)稱為“基板”。

背景技術(shù)

作為以往的基板檢查裝置，存在如下結(jié)構(gòu)：當(dāng)使測試頭（也稱為檢查頭）與被檢查對(duì)象物接觸時(shí)，在接觸不良的情況下，使測試頭保持接觸狀態(tài)地向接觸方向略微移動(dòng)，而使測試頭與被檢查對(duì)象之間成為導(dǎo)通狀態(tài)（專利文獻(xiàn)1）。

專利文獻(xiàn)1的技術(shù)以對(duì)被檢查對(duì)象物的平面上的接觸位置進(jìn)行微調(diào)為目的，而不是根據(jù)作為被檢查對(duì)象物的基板的種類來調(diào)整測試頭的探針（也稱為檢查探針）的壓入量（或者行程），因此，無法根據(jù)基板的種類而合適地設(shè)定壓入量。

此處，關(guān)于探針的壓入量，如專利文獻(xiàn)1的圖3所示，利用彈簧的彈力對(duì)插入到圓筒狀的管（也稱為套筒）內(nèi)的柱塞施力，并根據(jù)管內(nèi)的柱塞的移動(dòng)量來確定。另外，也存在多個(gè)探針的柱塞的移動(dòng)量（探針的壓入量）由于彈簧的彈性力的偏差、或者由于基板的翹曲/彎曲而不同的情況，這也是檢查精度降低的原因。

另外，在本申請(qǐng)申請(qǐng)人所制造/銷售的以往的基板檢查裝置中，還存在下述產(chǎn)品：具有觸摸面板，檢查操作員對(duì)顯示在觸摸面板上的數(shù)值鍵（或數(shù)字鍵）進(jìn)行操作，而數(shù)字地輸入測試頭的探針的壓入量。上述以往的基板檢查裝置在量產(chǎn)基板的檢查之前，在壓入量的調(diào)整階段中，使測試頭移動(dòng)到數(shù)值輸入的壓入量的位置為止，一邊目視或者觀察檢測出的電特性，一邊確認(rèn)是否變?yōu)楹线m的壓入量，或者一邊一并使用這些手段，一邊進(jìn)行確認(rèn)，多次重復(fù)壓入量的數(shù)值輸入與測試頭的移動(dòng)來進(jìn)行調(diào)整以便成為最優(yōu)的壓入狀態(tài)。

但是，在被檢查對(duì)象物的基板的種類中，不僅存在柔性基板、電木（bakelite）基板等材質(zhì)的差異，厚度的差異、布線圖案或者接點(diǎn)等的材質(zhì)/厚度也多種多樣，另外，與基板接觸的測試頭本身也多種多樣，且存在單面基板和雙面基板，因此，難以調(diào)整各種基板的每個(gè)的合適的壓入量，且存在量產(chǎn)檢查前的壓入量的調(diào)整要花費(fèi)很長時(shí)間的問題。

特別地，在雙面基板的情況下，必須在隨時(shí)間軸的變化的同時(shí)對(duì)一個(gè)主面（例如表面）側(cè)的壓入量與另一個(gè)主面（例如背面）側(cè)的壓入量的平衡進(jìn)行調(diào)整，因此，即便是熟練的檢查操作員也要在壓入量的調(diào)整上花費(fèi)長的時(shí)間（例如5～6小時(shí)）。

此處，在雙面基板的情況下必須在時(shí)間軸的變化的同時(shí)對(duì)表面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)鹊膲喝肓康钠胶膺M(jìn)行調(diào)整的理由是因?yàn)椋和ǔ１砻鎮(zhèn)鹊臏y試頭的大小大多小于背面?zhèn)鹊臏y試頭，在檢查時(shí)，施加在基板的表面和背面上的探針（檢查探針）所產(chǎn)生的壓力不同，或者如果基板產(chǎn)生翹曲或彎曲，則在多個(gè)探針之間接觸壓力方面（結(jié)果為在壓入量方面）產(chǎn)生變化。另外，由于測試頭本身具備多個(gè)探針，各個(gè)探針的突出量、彈性特性存在微小的差異，而不是全部均一的，因此，存在無法按照設(shè)計(jì)來進(jìn)行，若不實(shí)際地進(jìn)行調(diào)整就無法調(diào)整最佳值的問題。

專利文獻(xiàn)1：日本特開平5-322928號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種能夠容易且迅速地將檢查頭所包含的多個(gè)檢查探針的壓入量調(diào)整為合適的值或范圍的基板檢查裝置。

本發(fā)明的另一個(gè)目的在于提供一種能夠縮短用于將檢查探針的壓入量調(diào)整為合適的值或范圍的時(shí)間、并可以提高操作效率的基板檢查裝置。

第一發(fā)明的基板檢查裝置用于測量通過形成多個(gè)布線圖案或接點(diǎn)而包含多個(gè)檢查用觸點(diǎn)的基板的電特性，來檢查該基板是否良好，并具備至少一個(gè)檢查頭、移動(dòng)機(jī)構(gòu)、模擬操作部以及控制單元。

檢查頭包括多個(gè)檢查探針。移動(dòng)機(jī)構(gòu)通過至少使檢查頭從與基板的一個(gè)主面（例如表面）垂直的一個(gè)方向移動(dòng)，來使多個(gè)檢查探針與該基板的規(guī)定的檢查觸點(diǎn)導(dǎo)通接觸。模擬操作部通過模擬地進(jìn)行調(diào)節(jié)操作，來調(diào)節(jié)基于移動(dòng)機(jī)構(gòu)的檢查頭的移動(dòng)量?？刂茊卧鶕?jù)模擬操作部的操作量，控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)的移動(dòng)量，來調(diào)整檢查頭的多個(gè)檢查探針與基板的檢查觸點(diǎn)接觸時(shí)的壓入量。

根據(jù)第一發(fā)明的基板檢查裝置，在所采用的基板為單面基板的情況下，能夠容易且迅速地將檢查頭所包含的多個(gè)檢查探針的壓入量調(diào)整為合適的值或范圍。另外，能夠縮短用于調(diào)整壓入量的時(shí)間，能夠提高操作效率。

第二發(fā)明的基板檢查裝置是在第一發(fā)明中，模擬操作部是撥盤（dial）操作部，還具備輸入表示壓入量為合適的狀態(tài)的操作開關(guān)，控制單元包括存儲(chǔ)單元。