[發明專利]基板檢查裝置和基板檢查方法

無效

• 申請號: 201310438974.3
• 申請日: 2013-09-24
• 公開（公告）號: CN103713209A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 中山孝文;山口修;恩知勲;八田重俊
• 申請（專利權）人: 日本電產理德株式會社
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00
• 代理公司: 北京弘權知識產權代理事務所(普通合伙) 11363
• 代理人: 郭放;許偉群

1.一種基板檢查裝置，用于測量通過形成多個布線圖案或接點而包含多個檢查用觸點的基板的電特性，來檢查該基板是否良好，所述基板檢查裝置具備：

包含多個檢查探針的至少一個檢查頭；

移動機構，所述移動機構使所述檢查頭從與所述基板的至少一個主面垂直的一個方向移動，來使所述多個檢查探針與所述基板的規定的檢查觸點導通接觸；

模擬操作部，所述模擬操作部通過模擬地進行調節操作，來調節基于所述移動機構的所述檢查頭的移動量；以及

控制單元，所述控制單元根據所述模擬操作部的操作量，控制所述移動機構的移動量，來調整所述檢查頭的多個檢查探針與所述基板的檢查觸點接觸時的壓入量。

2.根據權利要求1所述的基板檢查裝置，其中，

所述模擬操作部是撥盤操作部，

所述基板檢查裝置還具備輸入指示所述壓入量是合適的狀態的操作開關，

所述控制單元包括存儲單元，

所述控制單元還包括存儲控制部，所述存儲控制部根據所述操作開關的操作，將與變為合適的壓入量的狀態下的所述撥盤操作部的操作量相對應的壓入量相關的數據存儲在所述存儲單元中。

3.根據權利要求2所述的基板檢查裝置，其中，

所述基板檢查裝置還具備模式切換單元，所述模式切換單元能夠切換為調節壓入量的調節模式和在以變為預先調節了的壓入量的方式使所述多個檢查探針與所述基板接觸的狀態下檢查所述基板的檢查模式中的任一模式，

在利用所述模式切換單元選擇了調節模式時，所述存儲控制部將與所述壓入量相關的數據存儲在所述存儲單元中，

在利用所述模式切換單元選擇了檢查模式時，所述控制單元控制所述移動機構的移動量，自動地調節所述檢查頭的多個檢查探針與所述基板的檢查觸點接觸時的壓入量，來檢查該基板是否良好。

4.根據權利要求1或3所述的基板檢查裝置，其中，

利用所述基板檢查裝置檢查的基板在基板的表面與背面這兩面上包含形成了多個布線圖案或接點的多個檢查用觸點，

所述檢查頭包括：包含與所述基板的表面的多個檢查用觸點導通接觸的多個檢查探針的第一檢查頭；以及包含與所述基板的背面的多個檢查用觸點導通接觸的多個檢查探針的第二檢查頭，

所述移動機構包括：使所述第一檢查頭從所述基板的上部位置下降或從下降后的位置上升的第一移動機構；以及使所述第二檢查頭從所述基板的下部位置上升或從上升后的位置下降的第二移動機構，

所述控制單元基于所述模擬操作部的操作，調整所述第一檢查頭的多個檢查探針與所述基板的表面的多個檢查用觸點接觸時的壓入量，并且調整所述第二檢查頭的多個檢查探針與所述基板的背面的多個檢查用觸點接觸時的壓入量。

5.根據權利要求4所述的基板檢查裝置，其特征在于，

所述模擬操作部包括：調整所述第一檢查頭的多個檢查探針與所述基板的表面的檢查用觸點接觸時的壓入量的第一撥盤操作部；以及調整所述第二檢查頭的多個檢查探針與所述基板的背面的檢查用觸點接觸時的壓入量的第二撥盤操作部，

所述基板檢查裝置還具備輸入指示處于變為了合適的壓入量的狀態的操作開關，

所述控制單元包括存儲單元，

所述控制單元還包括存儲控制部，所述存儲控制部根據所述第一撥盤操作部的操作量與所述操作開關的操作，將與變為合適的壓入量的狀態下的所述第一檢查頭的壓入量相關的數據存儲在所述存儲單元中，并且根據所述第二撥盤操作部的操作量與所述操作開關的操作，將與變為合適的壓入量的狀態下的所述第二檢查頭的壓入量相關的數據存儲在所述存儲單元中。