[發明專利]電致發光裝置及其制備方法有效
| 申請號: | 201310436163.X | 申請日: | 2013-09-23 |
| 公開(公告)號: | CN103474582A | 公開(公告)日: | 2013-12-25 |
| 發明(設計)人: | 程鴻飛;張玉欣 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L51/52 | 分類號: | H01L51/52;H01L27/32;H01L21/77 |
| 代理公司: | 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 電致發光 裝置 及其 制備 方法 | ||
技術領域
本發明涉及顯示領域,尤其涉及一種電致發光裝置及其制備方法。
背景技術
有機發光二極管(Organic?Light?Emitting?Diode,OLED),又稱有機電激光顯示(Organic?Electroluminescence?Display,OELD),由于同時具備自發光,不需背光源、對比度高、厚度薄、視角廣、反應速度快、使用溫度范圍廣、構造及制程簡單等優異特性,近來已普遍應用于移動通信終端、個人數字助理(PDA)、掌上電腦等。
OLED裝置分為無源矩陣型和有源矩陣型OLED裝置,其中有源矩陣型OLED是指每個OLED都由薄膜晶體管(Thin?Film?Transistor,TFT)電路來控制流過OLED的電流,具有發光效率高和圖像顯示效果好的特點。
如圖1所示,一種現有有源矩陣型OLED顯示裝置,包括:彩膜基板20和陣列基板10,其中,彩膜基板20包括:基板21,依次設置在基板21上的彩色濾光層、平坦層23、第一電極24、有機發光層(Organic?Electro-Luminescence,有機EL)25和第二電極26,其中彩色濾光層包括:黑矩陣221,由黑矩陣221分隔開的色阻塊222,陣列基板10包括:第二基板11,依次設置在第二基板11上的薄膜晶體管12陣列、保護層13和連接電極14,連接電極14通過保護層過孔與薄膜晶體管12的漏極連接;最后在彩膜基板20或陣列基板10的邊緣涂敷封框膠30,將彩膜基板20和陣列基板10對盒,第二電極26與陣列基板10上的連接電極14一一對應接觸,實現電連接。
為了使對盒后連接電極14和第二電極26充分接觸,提升薄膜晶體管12和第二電極26電連接的可靠性,連接電極14通常制備得比較厚(一般為2-3微米),但這會導致一是制備時形成薄膜的過程耗時長,二是刻蝕薄膜以形成連接電極14時出現刻蝕困難。
發明內容
本發明的實施例提供一種電致發光裝置及其制備方法,在保證薄膜晶體管與第二電極電連接可靠性的同時,還可使連接電極制備過程中的成膜時間縮短,刻蝕難度降低,從而提高生產效率。
為達到上述目的,本發明的實施例采用如下技術方案:
本發明的實施例提供一種電致發光裝置包括:彩膜基板;所述彩膜基板包括:基板,設置于所述基板上的彩色濾光層、第一電極、有機發光層和第二電極;所述彩色濾光層包括:黑矩陣,由所述黑矩陣分隔開的色阻塊;所述彩膜基板還包括:凸臺層;所述凸臺層設置在所述彩色濾光層和所述第一電極之間,且,位于所述色阻塊上方的所述凸臺層向遠離基板的一側凸起,形成凸臺;所述第一電極、有機發光層和第二電極依次設置在所述凸臺層上,且所述第二電極位于所述凸臺的上方。
優選地,所述凸臺層的總厚度為2~4微米,所述凸臺的臺階高度為1.5~2.5微米。
可選地,所述凸臺層選用下述之一材料制成,或者下述多種材料制成的復合膜層:
氮化硅,氧化硅,或者感光樹脂。
進一步可選地,所述感光樹脂為:聚丙烯酸類樹脂,或者聚酰亞胺類樹脂,或者聚酰胺類樹脂。
進一步地,所述彩膜基板,還包括:平坦層,設置在所述彩色濾光層和所述凸臺層之間。
進一步地,所述電致發光裝置還包括:陣列基板;所述陣列基板包括:第二基板,依次設置在第二基板上的薄膜晶體管、保護層和連接電極;所述保護層設置有保護層過孔,所述連接電極的設置位置與所述彩膜基板的第二電極相對應,所述連接電極通過所述保護層過孔與所述薄膜晶體管的漏極相連。
優選地,所述連接電極的厚度為0.3~1微米。
可選地,所述連接電極選用下述材料中一種或幾種制成:銅、鉬、錫、鋁、銀。
可選地,所述保護層選用下述材料中一種或幾種制成:氮化硅,氧化硅,或者感光樹脂。
另一方面,本實施例還提供一種電致發光裝置的制備方法,包括:彩膜基板制程,所述彩膜基板制程,包括:
步驟1、在基板上形成彩色濾光層,所述彩色濾光層包括:黑矩陣,由所述黑矩陣分隔開的色阻塊;
步驟2、在形成有彩色濾光層的基板上形成凸臺層,并通過構圖工藝在所述色阻塊的上方形成凸臺;
步驟3、在所述凸臺層之上依次形成第一電極、有機發光層和第二電極,所述第二電極位于所述凸臺的上方。
可選地,所述凸臺層選用感光樹脂制成時,所述步驟2具體包括:形成凸臺層;經過曝光、顯影后,在所述色阻塊上方形成凸臺。
可選地,在完成步驟1之后,步驟2之前,還包括:在設置有彩色濾光層的基板上形成平坦層。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的,如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇





