[發(fā)明專利]可識(shí)別的具有編碼信息的IC圖案

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310435219.X
• 申請(qǐng)日: 2013-09-23
• 公開（公告）號(hào): CN103853870B
• 公開（公告）日: 2017-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張世明;林子欽;羅仁杰;唐于博;歐宗樺
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號(hào): G06F17/50
• 分類號(hào): G06F17/50
• 代理公司: 北京德恒律治知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11409
• 代理人: 章社杲,孫征

1.一種以區(qū)分其包含的多個(gè)相似圖案的方式制造集成電路(IC)設(shè)計(jì)布局的方法，其特征在于，每一個(gè)圖案都包括以基本規(guī)律的方式排列的多個(gè)基本相同的偽部件，所述方法包括：

確定每一圖案中要偏離的至少一個(gè)可調(diào)偽部件；

確定錨偽部件的錨組從而定位每一圖案中的所述至少一個(gè)可調(diào)偽部件，所述錨偽部件的錨組與每一圖案中的所述至少一個(gè)可調(diào)偽部件具有固定的空間關(guān)系；

確定要改變以使所述至少一個(gè)可調(diào)偽部件偏離的調(diào)整參數(shù)；

對(duì)于每一調(diào)整參數(shù)，確定所述調(diào)整參數(shù)可通過其改變的偏差值；以及

對(duì)于每一圖案以及其中的每一可調(diào)偽部件，通過相應(yīng)的偏差值以如下方式來改變所述調(diào)整參數(shù)中的一個(gè)或多個(gè)：使得不同的圖案可通過具有已改變的調(diào)整參數(shù)的可調(diào)偽部件來區(qū)分。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述調(diào)整參數(shù)選自由寬度、長度、x間距、y間距或者每一可調(diào)偽部件的形狀所組成的組。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，對(duì)于每一調(diào)整參數(shù)，所述偏差值是具有恒定間隔的離散數(shù)值。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，考慮來自檢測(cè)工具的圖像的分辨率來確定所述偏差值，使得每一可調(diào)偽部件的偏差值的量級(jí)都可從所述圖像中識(shí)別。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，確定所述至少一個(gè)可調(diào)偽部件包括：

確定所有圖案共同的所述可調(diào)偽部件的數(shù)量；以及

確定所有圖案共同的所述可調(diào)偽部件的位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，考慮所述集成電路設(shè)計(jì)布局中要區(qū)分的圖案的數(shù)量來確定所述可調(diào)偽部件的數(shù)量。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括：確定要分別分配給每一可調(diào)偽部件的調(diào)整參數(shù)的均衡值。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，確定所述錨偽部件的錨組包括：

確定所有圖案共同的所述錨偽部件的數(shù)量；

確定所有圖案共同的所述錨偽部件的位置；以及

對(duì)于每一錨偽部件，確定要分別分配給其的錨參數(shù)和錨值。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，在每一圖案內(nèi)，所述錨偽部件共享一組共同的所述錨參數(shù)和所述錨值。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，在所有圖案中，所述錨偽部件共享一組共同的所述錨參數(shù)和所述錨值。

11.一種集成電路布局結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述集成電路布局結(jié)構(gòu)包括其中具有編碼的區(qū)別的多個(gè)圖案，每一圖案都包括：

以基本規(guī)律的方式排列的多個(gè)偽部件，每一偽部件都具有相同的可觀察參數(shù)的組，每一可觀察參數(shù)都具有一個(gè)數(shù)值，所述多個(gè)偽部件包括：

錨偽部件的錨組，其中在所有的圖案中，任何兩個(gè)相應(yīng)設(shè)置的錨偽部件都共享共同的分別分配給其所述可觀察參數(shù)的數(shù)值組；以及

一個(gè)或多個(gè)可調(diào)偽部件，每一可調(diào)偽部件都與所述錨偽部件具有固定的預(yù)定空間關(guān)系，

其中，每一圖案中的所述可調(diào)偽部件都具有相應(yīng)的可觀察參數(shù)的組，所述可觀察參數(shù)被分配相應(yīng)的數(shù)值以限定所述可調(diào)偽部件的唯一輪廓，從而對(duì)于每一圖案來說都使所述集成電路布局結(jié)構(gòu)中任何兩個(gè)不同的圖案具有不同輪廓的所述可調(diào)偽部件。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的集成電路布局結(jié)構(gòu)，其中，用于每一偽部件的可觀察參數(shù)選自寬度、長度、x間距、y間距或者所述每一偽部件的形狀。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的集成電路布局結(jié)構(gòu)，其中，用于所述可調(diào)偽部件的每一可觀察參數(shù)的所述數(shù)值選自一組具有恒定間隔的離散數(shù)值。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的集成電路布局結(jié)構(gòu)，其中，所述恒定間隔等于能夠分辨來自給定分辨率的檢測(cè)工具的圖像的最小量級(jí)。

15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的集成電路布局結(jié)構(gòu)，其中，每一圖案內(nèi)的所有錨偽部件都共享一組共同的被分配給對(duì)應(yīng)的可觀察參數(shù)的數(shù)值。

16.根據(jù)權(quán)利要求11所述的集成電路布局結(jié)構(gòu)，其中，在所有圖案中，各錨組具有相同數(shù)量的錨偽部件、相同的配置和在各圖案中的相同位置。