[發(fā)明專利]一種臥式多弧鍍膜室有效

申請?zhí)枺?/td>	201310434787.8	申請日：	2013-09-24
公開（公告）號：	CN103469158A	公開（公告）日：	2013-12-25
發(fā)明（設計）人：	關秉羽	申請（專利權）人：	遼寧北宇真空科技有限公司
主分類號：	C23C14/22	分類號：	C23C14/22
代理公司：	鐵嶺天工專利商標事務所 21105	代理人：	靳萬清
地址：	112000 遼寧***	國省代碼：	遼寧;21
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種臥式鍍膜
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【權利要求書】：

1.一種臥式多弧鍍膜室，具有鍍膜室罐體（1），鍍膜室罐體（1）具有外壁（2）、中間冷卻套層（3）和內壁（4），鍍膜室罐體（1）的上、下部壁上均布裝有弧源安裝孔（5、6），鍍膜室罐體（1）底部具有安裝支架（10），弧源安裝孔（5、6）包括與所述鍍膜室罐體（1）外壁（2）相連的安裝外壁（7）、與所述鍍膜室罐體（1）內壁（4）相連的安裝內壁（9）及與所述鍍膜室罐體（1）中間冷卻套層（3）相連通的安裝套層（8），其特征在于：所述安裝內壁（9）伸出所述鍍膜室罐體（1）內壁（4）且伸入到鍍膜室罐體（1）內。

2.???按照權利要求1所述的臥式多弧鍍膜室，其特征在于：僅是位于所述鍍膜室罐體（1）下部壁上的弧源安裝孔（6）的安裝內壁（9）伸出所述鍍膜室罐體（1）內壁（4）且伸入到鍍膜室罐體（1）內。

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